¡Olvídense del aire caliente! Por qué los calentadores de infrarrojos en vacío son la mejor opción
Si aún utilizan sistemas de circulación de aire caliente para el procesamiento de semiconductores, seguramente habrán notado las demoras que esto implica. Es frustrante: básicamente, uno debe esperar a que toda la cámara y cada molécula de aire dentro se caliente antes de que la oblea empiece a sentir algo. Es un proceso lento que dificulta el trabajo.
Por eso pasamos a utilizar calentadores de infrarrojos en vacío. De esta manera, eliminamos por completo el aire de la ecuación.
La velocidad es increíble.
Imagínenlo así: los calentadores de infrarrojos utilizan radiación electromagnética. En el vacío, no hay nada que impida que los fotones lleguen directamente al sustrato. No hay necesidad de “calentar” la habitación ni de esperar a que una brisa lleve el calor. La respuesta térmica es casi instantánea.
Para un gerente de fábrica, esto es un sueño: se reduce el tiempo necesario para alcanzar la temperatura deseada de 20 minutos a unos pocos segundos.
Pero no basta con colocar cualquier tipo de lámpara allí. Los entornos en vacío son muy exigentes para el hardware. Utilizamos elementos de cuarzo de alta densidad de potencia para concentrar el calor. Pero como no hay aire que lleve el calor excedente, el equipo sufre mucho.
Tengan cuidado con los sistemas de enfriamiento. Si su sistema de enfriamiento no es lo suficientemente eficaz, podrían dañar las estructuras de la cámara o dañar los sellos que la mantienen hermética. Es un problema del cual no queremos estar conscientes.
Lo bueno es que ocupan menos espacio. Pueden prescindir de esos enormes soplantes y de todo ese sistema de conductos complicado. Solo tienen que conectar los calentadores de infrarrojos y ajustar los controladores PID. listo.
Sin embargo, hay un problema: la uniformidad del calor. Los rayos infrarrojos son direccionalizados, lo que significa que podrían aparecer puntos calientes si no se tiene cuidado. Para resolver esto, utilizamos reflectores recubiertos de oro o arrayes multiángulos para distribuir el calor de manera uniforme.
Además, está el factor de limpieza. Al dejar de circular el aire, también dejamos de tener partículas y turbulencias alrededor del componente a tratar. Sin suciedad, sin riesgos. Solo radiación limpia y directa.