در خط تولید با طول ۳۰۰ میلیمتر، به سرعت متوجه میشوید که انحراف دما در مرحله خشککردن/پختن، حتی کمتر از ۰٫۱ درجه سانتیگراد، اصلاً انحراف کوچکی نیست. این انحرافات باعث تغییرات جزئی در ابعاد قطعات میشوند و همچنین باعث افزایش یا کاهش تعداد ذرات در قطعات میگردند. هیترهای خودکار برای خشککردن ویفرها، صرفاً منبع گرما نیستند؛ بلکه نقش مهمی در کنترل دمای لازم برای فرآیندهای مربوط به پردازش ویفرها ایفا میکنند. این هیترها تأثیر زیادی بر کیفیت ویفرها دارند و تعیین میکنند که آیا ویفرها برای ارسال مناسب هستند یا خیر.
نکات فنی مهم:
ما این هیترها را با استفاده از ماژولهای حرارتی ساختیم که با شرایط اتاقهای پاکسازی سازگار هستند؛ این ماژولها باعث میشوند که دما در سراسر ویفر در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد باقی بماند. پایداری دما نیز در طول ۲۴ ساعت بیشتر از ±۰٫۲ درجه سانتیگراد است. تغییرات دما نیز کنترل میشود تا از ایجاد مشکلات ناشی از رقیق شدن مواد شیمیایی جلوگیری شود. ساختار اتاق و مسیرهای خروجی گاز نیز به گونهای طراحی شدهاند که هیچ ذرهای در محیط باقی نماند؛ این امر باعث حفظ محیطهای با استانداردهای ISO ۱ تا ۱۰۰ میشود. تکرارپذیری این فرآیند نیز کمتر از ۰٫۳ درجه سانتیگراد است؛ این امر باعث میشود که فرآیند در هر بار اجرا، یکنواخت باقی بماند.
دلیل عملکرد خوب این هیترها این است که در فرآیندهای لیتوگرافی، کنترل یکنواخت دما باعث کنترل چسبندگی و فشار فیلم میشود؛ همچنین، کنترل دما در مرحله پختن نیز باعث میشود که پروفایل ویفر قبل از عکسبرداری و پردازش، ثابت بماند. با استفاده از این هیترها، میتوان از بازکاریهای ناشی از مشکلات مربوط به رقیق شدن مواد شیمیایی جلوگیری کرد؛ همچنین، با حذف تغییرات دما، میتوان کیفیت ویفرها را بهبود بخشید. این هیترها از دستورالعملهای خودکار پشتیبانی میکنند؛ بنابراین، اپراتورها میتوانند بدون نیاز به حدس و گمان، فرآیند را انجام دهند. همچنین، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا این ماژولها تنها محل مشخص شده را گرم میکنند، نه کل اتاق.
نکات عملی:
نصب این هیترها نیازمند هماهنگی دقیق با سیستمهای گاز، خلأ و مسیرهای خروجی گاز است؛ همچنین، این هیترها باید با اندازه دقیق ویفر و ساختار چاکهای مربوطه سازگار باشند. باید یک آزمایش برای ارزیابی عملکرد هیتر انجام شود؛ در این آزمایش، دما در شرایط فرآیندی اندازهگیری میشود، نه فقط در حالت استراحت. پس از تنظیم صحیح، این هیترها میتوانند به طور مداوم کار کنند؛ اما همچنان نیاز به کالیبراسیون و بررسی فیلترها برای حفظ یکنواختی دما وجود دارد.