در فرآیندهای تولید، میدانید که چقدر سریع میتواند اتفاقات ناخواسته رخ دهد. حتی کمترین تغییر در دما نیز میتواند باعث تغییر ابعاد مهم قطعات شود و در نتیجه، فیلمهای استفاده شده در فرآیندهای لیتوگرافی دچار نقص شوند. وقتی که خطوط خشککننده فیلمهای جداکننده باتری را در کنار دستگاههای تولید نیمههادی استفاده میکنیم، پایداری حرارتی چیزی نیست که بتوان آن را نادیده گرفت؛ بلکه این موضوع بسیار مهم است. اگر دستگاه خشککننده دچار اختلال شود، بازدهی تولید قبل از اینکه ویفرها وارد خط تولید شوند، کاهش خواهد یافت.
آنچه که ما در طراحی این دستگاه در نظر گرفتهایم:
ما این دستگاه را با توجه به کنترل دقیق دما و کاهش تأثیر ذرات، طراحی کردهایم. یکنواختی دما در منطقه فعال دستگاه، در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین هر بار، فرآیند خشککنندگی در شرایط یکسانی انجام میشود. ماژول گرمایشی این دستگاه از نوع مادون قرمز است؛ بنابراین پاسخسنجی سریع و دقیقی دارد، و این امر باعث کاهش نوسانات دما میشود.
ساختار این دستگاه به گونهای است که مطابق با استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ باشد؛ همچنین، این دستگاه هیچ ذرهای تولید نمیکند و سیستم تهویه آن نیز مانع از ورود آلودگیها به داخل محفظه تولید میشود. قابلیت اطمینان این دستگاه به میزان زمان کاری آن بستگی دارد؛ قطعات این دستگاه برای کار ۲۴ ساعته مناسب هستند، و سیستم نیز برای کار در چندین شیفت بدون توقفات غیرمنتظره، طراحی شده است.
چرا این دستگاه برای کاربردهای مورد نظر مناسب است؟
دستگاههای خشککننده فیلمهای جداکننده باتری باید دقت لازم برای فرآیندهای لیتوگرافی را داشته باشند؛ در غیر این صورت، میتوانند به گرههای ضعیف در خط تولید تبدیل شوند. با استفاده از این دستگاه، میتوان از بازکاریهای ناشی از خشکنشدن کامل فیلمها جلوگیری کرد؛ همچنین، زمان فرآیند تولید نیز کاهش مییابد. استفاده از گرمایش کارآمد و کنترل دقیق دما نیز باعث صرفهجویی در مصرف انرژی میشود. نتیجه این است که بازدهی تولید افزایش مییابد و نوسانات دما کاهش مییابد.
جزئیات عملی این دستگاه:
این دستگاه، جایگزینی مستقیم و قابل اعتماد برای تجهیزات حرارتی با دقت بالا است؛ همچنین، این دستگاه مطابق با استانداردهای بینالمللی تجهیزات نیمههادی طراحی شده است. برای استفاده از این دستگاه، باید اتصالات مربوط به تهویه را مناسب کرد و الگوی جریان هوا در اتاق تمیز را بررسی کرد تا از بازگشت آلودگیها جلوگیری شود. همچنین، باید پارامترهای PID را برای شرایط خاص فیلمها و سرعت خط تولید تنظیم کرد؛ پس از این کار، فرآیند تولید قابل پیشبینی و تکرارپذیر خواهد بود.