جلوگیری از خراب شدن ویفرها توسط لامپها
در خطوط تولید با حجم بالا، خراب شدن لامپ یک فاجعه است. مسئله فقط متوقف شدن ماشین برای چند ساعت نیست؛ بلکه مشکلات بسیار بیشتری نیز وجود دارد.
وقتی لوله کوارتزی خراب میشود، تکههای شیشه و گاز هالوژن به طور مستقیم روی ویفرها میافتند. در نتیجه، کل محموله از بین میرود. ما کنترلرهای خشککنهای مادون قرمز دیجیتال و مجموعههای لامپی را به گونهای طراحی کردهایم که این اتفاق هرگز رخ ندهد.
حفظ سرمای بخشهای مختلف
بیشتر لامپها به دلیل شوک حرارتی یا افزایش ناگهانی ولتاژ خراب میشوند. این موضوع مانند ریختن آب جوش در یک لیوان سرد است؛ لیوان در نتیجه ترک میخورد.
به همین دلیل، کنترلرهای ما لامپ را بلافاصله در حالت پایه قرار نمیدهند؛ بلکه از الگوهای PID برای افزایش تدریجی توان استفاده میکنند. این کار به لوله کوارتز اجازه میدهد تا به آرامی و به طور ایمن گسترش یابد.
ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا میتواند گرما را تحمل کند. اما باید صادق باشیم: کوارتز هنوز هم شیشه است و شکننده است. برای رفع این مشکل، لامپ را در یک غلاف محافظ قرار میدهیم. اگر لوله خراب شود، غلاف تکههای شیشه را جذب میکند. در نتیجه، ویفرها تمیز باقی میمانند و نیازی نیست کل روز را صرف تمیز کردن ماشین کنیم.
سختافزارهای مقاوم
نمیتوان لامپهای با توان بالا را روی مدارهای ارزان و ضعیف استفاده کرد. اگر ولتاژ ناگهان تغییر کند، رشته فیلامنت تحت فشار قرار میگیرد و در نهایت خراب میشود.
ما محدودیتهای ولتاژی را کنترل میکنیم؛ این کار باعث میشود لامپها مدت زمان بیشتری کار کنند و از خراب شدن ناگهانی لامپ جلوگیری شود.
همچنین، ما به کانکتورها نیز توجه زیادی میکنیم؛ اگر کانکتورها محکم نباشند، اتصالات دچار مشکل میشوند. این امر باعث ایجاد نقاط گرمایی میشود که میتواند لوله کوارتز را ترک بخورد. اتصالات محکم، باعث میشود لامپ بتواند در برابر فشارها مقاومت کند.
یک معایب
صادقانه بگوییم، استفاده از غلاف محافظ باعث کاهش کمی از نور مادون قرمز میشود؛ در نتیجه، مقدار کمی از توان لامп کاهش مییابد.
برای جبران این مشکل، ممکن است نیاز باشد توان لامپ را افزایش دهیم یا اجازه دهیم ویفرها برای رسیدن به دمای مورد نظر، مدت زمان بیشتری در معرض گرما باشند. این یک تغییر جزئی است، اما بهتر از از دست دادن تعداد زیادی ویفر گرانقیمت به دلیل خراب شدن لامپ است.