در یک خط تولید با طول ۳۰۰ میلیمتر، حتی انحراف نیم درجهای در فرآیند گرم کردن فوتورزیست، میتواند باعث اختلال در عرض لبههای خطوط تولید شده و منجر به از بین رفتن محصولات تولید شده شود. این همان محیطی است که ما این گرمکن مادون قرمز سازگار با شرایط خلأ را برای آن طراحی کردهایم؛ جایی که محدودیتهای حرارتی بسیار سختگیرانه هستند و تعداد ذرات موجود در محیط تمیز نیز بر حسب مولکول اندازهگیری میشود.
چه چیزهایی از نظر فنی اهمیت دارد؟ ما از فرستندههای مادون قرمز کوتاهامواج در محیط کوارتز استفاده میکنیم؛ این فرستندهها گرما را مستقیماً به فوتورزیست و سطح زیرلایه منتقل میکنند. پاسخگویی این دستگاه در کمتر از یک ثانیه اتفاق میافتد و نیازی به تماس فیزیکی نیست. در سراسر منطقه فرآیند، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین تکرارپذیری فرآیند در بین دستههای مختلف، در حد ≤۰.۲ درجه سانتیگراد است.
این گرمکن از طریق فلنجهای استاندارد وارد محفظههای خلأ و ابزارهای تولید میشود؛ همچنین دارای سیستم محافظت در برابر امواج رادیویی/DC نیز میباشد. این دستگاه در محیطهای کلاس ۱-۱۰۰ کاملاً تمیز باقی میماند و هیچ ذرهای تولید نمیکند. دما از طریق سیستم پیرومتری کالیبرهشده کنترل میشود؛ همچنین الگوی حرارتی این دستگاه قابل مقایسه با استانداردهای NIST است.
چرا این دستگاه در فرآیند لیتوگرافی مؤثر است؟ در فرآیند لیتوگرافی، برای کنترل حذف حلالها، تنشهای ناشی از لایههای فوتورزیست و سایر عوامل مرتبط، به فرآیندهای گرم کردن پایدار نیاز است. این دستگاه منحنی گرمایی لازم را تعیین میکند؛ این کار باعث کاهش تغییرات در کیفیت محصولات و افزایش بازدهی تولید میشود. همچنین، پاسخگویی سریع این دستگاه، زمان فرآیند را کاهش میدهد.
سازگاری این دستگاه با شرایط خلأ، خطرات ناشی از نشت گازها را از بین میبرد. همچنین مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا گرما به صورت لحظهای تأمین میشود، نه اینکه در یک ماسه بزرگ و داغ ذخیره شود. ما شاهد بودهایم که این دستگاهها بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار کردهاند و کاهشی کمتر از ۵٪ در بازدهی آنها رخ داده است؛ این امر امکان کار ۲۴/۷ را فراهم میکند.
چه چیزهایی را باید از قبل بدانید؟ نصب این دستگاه نیازمند هماهنگی دقیق با سطح ویفر و تنظیم صحیح میزان انتشار گرما است. حاملهای شیشهای، لایههای BARC و لایههای ضدانعکاس، همگی بر انتقال گرما تأثیر میگذارند.
این دستگاه برای تمام پلتفرمها مناسب نیست؛ برای استفاده از آن، نیاز به یک رابط کنترلی مخصوص و هماهنگی مکانی دقیق وجود دارد. لازم است یک آزمایش کوتاه انجام شود تا الگوی حرارتی دستگاه مشخص شود؛ سپس این الگو در استانداردهای فرآیندی لحاظ میشود.