http://warm-ir-heater-store.com/fa/tags/%D8%A7%DA%A9%D8%B3%D9%84%DB%8C%D8%B3/ Recent content in اکسلیس on Warm IR Heater Store Hugo fa Tue, 30 Jun 2026 01:37:30 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/fa/posts/axcelis-heater-element-spare/ Tue, 30 Jun 2026 01:37:30 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/fa/posts/axcelis-heater-element-spare/ <p><img src="http://warm-ir-heater-store.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="قطعه یدکی المنت گرمایشی آکسلیس"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، ماژول حرارتی نقش مهمی ایفا می‌کند؛ این ماژول تنشات ناشی از رزیست فوتوگرافیک را کاهش داده و محلول‌های موجود در آن را خارج می‌کند. همچنین، این ماژول پروفایل حرارتی را قبل از مرحله حکاکی تثبیت می‌کند. وقتی که عنصر گرمایشی <a href="https://henruite.com">Axcelis</a> دچار اختلال شود، یکنواختی دما کاهش می‌یابد؛ در نتیجه، اختلافاتی در سطح ویفر ایجاد می‌شود. در واقع، بازدهی تولید قبل از اینکه دستگاه حکاکی ویفر را ببیند، کاهش می‌یابد.</p> <p><strong>از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارند؟</strong><br> ما عنصر گرمایشی جایگزین Axcelis را برای کنترل دما استفاده می‌کنیم. سابسترات‌های کوارتزی با منابع مادون قرمز کوتاه‌امواج یا متوسط‌امواج، باعث افزایش سرعت گرم شدن و کاهش اینرسی حرارتی می‌شوند. هدف، داشتن یکنواختی دما در سطح ویفر در حد ±۰٫۱ درجه سانتی‌گراد است؛ به این ترتیب، پروفایل حرارتی رزیست فوتوگرافیک در تمام دسته‌های تولیدی یکسان خواهد بود. عنصر گرمایشی در ولتاژ و تراکم انرژی مشخص شده کار می‌کند، بدون ایجاد نقاط گرم. همچنین، شکل بسته‌بندی این عنصر با شکل اصلی آن همخوانی دارد؛ این امر باعث می‌شود که نصب آن آسان باشد. مواد مورد استفاده نیز برای فضاهای پاکسازی‌شده در کلاس‌های ۱ تا ۱۰۰ مناسب هستند؛ همچنین، تولید این عنصر باعث کاهش تولید ذرات می‌شود.</p>