Comment sécher les wafers de capteurs MEMS sans problèmes
Sécher les wafers de capteurs MEMS exige une certaine prudence. Il est nécessaire d’éliminer l’eau rapidement, mais si l’on utilise simplement de la chaleur pour cela, on risque de déformer le wafер ou de contaminer toute la série de wafers.
Le secret réside dans le fait de s’assurer que la chaleur atteint bien l’endroit voulu. La plupart des machines gaspillent beaucoup d’énergie pour chauffer le châssis métallique. Nous résolvons ce problème en combinant des chauffages infrarouges spécialisés avec des réflecteurs recouverts d’or.
Pourquoi de l’or ?
L’aluminium est bien sûr le matériau standard, mais il n’est pas idéal : il absorbe trop d’énergie infrarouge. L’or, lui, est différent : dans le spectre infrarouge proche, il reflète plus de 98 % de l’énergie.
Au lieu d’avoir une diffusion désordonnée de la chaleur autour de la machine, la couche d’or renvoie ces photons directement sur le wafер. C’est comme utiliser une loupe à la place d’une ampoule : on obtient ainsi une chaleur beaucoup plus intense là où c’est nécessaire, sans avoir à augmenter la puissance des lampes.
Le problème principal : chaleur et puissance
Lors du choix de ces chauffages, il faut choisir la puissance et la superficie adéquates. Les lampes à haute puissance permettent d’accélérer le processus, mais elles deviennent très chaudes. Si le système de refroidissement ne parvient pas à gérer cette chaleur, vous rencontrerez des problèmes : déformation des composants ou destruction des capteurs. C’est pourquoi nous prenons beaucoup de temps pour calibrer le point de focalisation. Nous veillons ainsi à ce que la chaleur soit concentrée précisément sur le wafер.
Maintenir le bon fonctionnement
Ces dispositifs sont conçus pour remplacer facilement les anciens systèmes infrarouges. Nous avons particulièrement accordé de l’importance à l’espace entre l’émetteur et le réflecteur, car c’est là que se créent les « zones mortes » – des endroits où la chaleur ne parvient pas à atteindre le wafер.
Un petit conseil : l’or est un matériau tendre. Il ne supporte pas bien les nettoyages intensifs, contrairement à l’aluminium. Si vous utilisez des produits de nettoyage agressifs, vous risquez d’abîmer la surface du wafер. Une fois cela arrivé, l’efficacité du système diminue et les coûts d’énergie augmentent. Utilisez plutôt des produits de nettoyage appropriés, et tout ira bien.