http://warm-ir-heater-store.com/fr/tags/axcelis/ Recent content in Axcelis on Warm IR Heater Store Hugo fr Tue, 30 Jun 2026 01:37:30 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/fr/posts/axcelis-heater-element-spare/ Tue, 30 Jun 2026 01:37:30 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/fr/posts/axcelis-heater-element-spare/ <p><img src="http://warm-ir-heater-store.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Élément chauffant de rechange Axcelis"></p> <p>Sur le poste de lithographie, le module de cuisson ne fait pas de compromis. La cuisson douce permet d’éliminer les solvants présents dans le résiste photochimique ; la cuisson ferme, quant à elle, fixe le profil thermique avant l’étape d’etchage. Lorsque l’élément chauffant <a href="https://henruite.com">Axcelis</a> dévie de sa position, l’uniformité de la température est compromise. Cela entraîne des écarts de coefficient de dilatation, ainsi que des problèmes aux bords du wafer. Le taux de réussite du processus diminue déjà avant même que l’appareil d’etchage n’entre en action.</p>