כיצד לייבש את שבבי ה-MEMS בלי בעיות
ייבוש שבבי החיישנים של MEMS הוא תהליך שדורש איזון עדין. יש צורך להיפטר מהמים – ובמהירות – אך אם נשתמש בחום גבוה מדי, עלולה להיווצר עיוות בשבב או זיהום של כל המחסנית.
הסוד הוא לוודא שהחום מגיע בדיוק למקום הנכון. רוב המכשירים מבזבזים הרבה אנרגיה על חימום המעטפת המתכתית. אנו פותרים זאת על ידי שימוש בחיממים אינפרא-אדומים מיוחדים, בשילוב עם מחזירי אור מצופים בזהב.
למה זהב?
אלומיניום הוא החומר הסטנדרטי, אך הוא לא מתאים. הוא סופג יותר מדי אנרגיה אינפרא-אדומה. הזהב שונה – בספקטרום האינפרא-אדום, הוא מחזיר יותר מ-98% מהאנרגיה.
במקום לקבל חום לא ממוקד, שכבת הזהב מחזירה את הפוטונים ישירות אל השבב. זה כמו להשתמש במגדלת במקום בנורה – כך ניתן לקבל חום אינטנסיבי דווקא במקום הנכון, בלי להגדיל את הכוח של הנורות.
החלק הקשה: חום וכוח
כשבוחרים את החיממים האלה, יש צורך לוודא שההספק ושטח הפנים שלהם מתאימים. נורות בהספק גבוה טובות להאצת התהליך, אך הן נהיות חמות מאוד. אם מערכת הקירור לא מסוגלת להתמודד עם החום, עלולות להיווצר בעיות – כמו עיוות בשבבים או נזק לחיישנים. לכן אנו משקיעים הרבה זמן בכיול החיממים, כדי שהחום יגיע דווקא למקום הנכון.
שמירה על תפקוד תקין
החיממים האלה נועדו להחליף את המערכות האינפרא-אדומיות הרגילות. אנו משקיעים הרבה מאמץ בוויסות המרחק בין הגורם המחמם לבין המחזיר – כי שם נוצרות “אזורים חסרי יעילות”, שבהם החום לא פועל כראוי.
הערה חשובה: זהב הוא חומר רך. הוא לא עמיד לניקוי אגרסיבי כמו אלומיניום. אם נעשה שימוש בחומרי ניקוי חזקים, השטח של הזהב עלול להיפגע. במקרה כזה, היעילות יורדת והחשבון על החשמל עולה. עדיף להשתמש בחומרי ניקוי מותרים – כך יהיה הכל בסדר.