על רצפת הפאב, אפיית הפוטורזיסט אינה חימום מקדים. היא הציר בתהליך.
תן לאפייה רכה או קשה לסטות ב-1.5°C ואתה תראה זאת בבקרת CD. קצוות מתחילים להיכנס. דיסקים נפסלים. אלמנטים החימום של התנור הוואקום חייבים לספק חום יציב וחוזר תחת וואקום—מבלי להוסיף חלקיקים או לאבד אחידות. על מה אנחנו מתמקדים, טכנית אנחנו מעצבים אלמנטים חימום לתנורי וואקום בליתוגרפיה ועיבוד פוטורזיסט, במטרה להשיג אחידות טמפרטורה של ±0.1°C על פני הדיסק. הם משתמשים במפיצי קוורץ אינפרא אדום קצר (NIR) עם אינרציה תרמית נמוכה, כך ששליטת העלייה היא מדויקת והתקציב התרמי נשאר מאורגן. הבנייה מתאימה לחדרים נקיים בדרגת Class 1–100. החומרים פולטיים נמוכים, והמחזור התרמי לא יוצר חלקיקים. צפיפות האנרגיה מותאמת לגיאומטריית החדר כדי להימנע מאזורי חום, וחזרתיות הטמפרטורה נשמרת אפייה אחרי אפייה. למה זה חשוב בייצור אתה צריך פרופיל אפייה שאתה יכול לסמוך עליו, יום אחרי יום. אלמנטים אלו מייצבים את פרופיל הטמפרטורה של התנור כך שבקרת רוחב הקו נשמרת ופרופילי הפוטורזיסט נשארים עקביים בין מפלסים. זה אומר פחות עבודות מחדש, תשואה שנשארת יציבה, וזמני מחזור שאתה יכול לתכנן סביבם. שימוש באנרגיה יורד מכיוון ש-NIR מחמם את הדיסק ואת החדר ישירות, במקום לשחרר חום לאוויר שמפונה. גם זמני החלפה מתארכים—עיצוב האלמנט עמיד בפני דעיכת אזורי חום, כך שצריכת החלפים יורדת. כמה הערות מעשיות האלמנטים מיועדים לעמוד בתקני ציוד חצי מוליך בינלאומיים ומאומתים כאלטרנטיבות שוות ערך. ההתקנה חייבת להתאים למתח התנור, ממשק המחבר ושטחי ההתקנה. אם הסיום לא מתיישב, תקבל חימום לא אחיד. תכנן מחזור אפייה ו-conditioning וואקום לאחר ההתקנה. זה מסלק לחות שארית ומייצב את החזרתיות הבסיסית.