http://warm-ir-heater-store.com/he/tags/%D7%90%D7%95%D7%98%D7%95%D7%9E%D7%98%D7%99/ Recent content in אוטומטי on Warm IR Heater Store Hugo he Thu, 02 Jul 2026 03:14:23 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/he/posts/automated-wafer-drying-heater/ Thu, 02 Jul 2026 03:14:23 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/he/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-store.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="מחמם אוטומטי לייבוש שבבים"></p> <p>בטווח ה-300 ממ, לומדים מהר ששינוי של פחות מ-0.1 מעלות צלזיוס בשלב הייבוש/אפייה אינו שינוי “קטן”. שינוי כזה יכול לגרום לשינויים בממדים החשובים של הוואפר, ברמה של ננומטרים, וכן לשינוי במספר החלקיקים שעל הוואפר. מערכות החימום האוטומטיות אינן רק מקורות חום נוספים – הן מהוות את הבסיס התרמי לתהליכי האפייה של הפוטורזיסט, וכן לייבוש לאחר הניקוי. זה קריטי כדי שהוואפרים יהיו ראויים לשימוש, או שיידחו.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> בנינו את מערכת החימום כך שתהיה תואמת לסביבות חדר נקי, כך שהאחידות בטמפרטורה על כל שטח הוואפר תהיה בטווח של ±0.1 מעלות צלזיוס. יציבות הטמפרטורה עומדת על יותר מ-±0.2 מעלות צלזיוס לאורך 24 שעות. קצב העלייה של הטמפרטורה מושלם כדי שלא יהיה שינוי בתכונות הפוטורזיסט. החדר ומסלולי האוורור מעוצבים כך שלא יהיו חלקיקים באוויר, כך שהסביבה תהיה ברמה ISO 1–100. החזריות של התהליך היא ≤0.3 מעלות צלזיוס בין סדרות שונות של ואפרים, מה שמאפשר שהתהליך יהיה עקבי מראשיתו ועד סופו.</p>