फैब फ्लोर पर, आप जानते ही हैं कि बेकिंग प्रक्रिया कितनी जल्दी गड़बड़ा सकती है। थोड़ा सा भी तापमान-परिवर्तन होने से उत्पादों के आकार में बदलाव हो जाता है, और फोटोरेजिस्ट में दोष उत्पन्न हो जाते हैं। जब बैटरी सेपरेटर फिल्मों को सूखाने हेतु ऐसी मशीनों का उपयोग सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियाओं में किया जाता है, तो ऊष्मीय स्थिरता बहुत ही महत्वपूर्ण हो जाती है… यही तो पूरी प्रक्रिया का आधार है। यदि ड्रायर में कोई गड़बड़ी हो जाए, तो वेफर ट्रैक पर पहुँचने से पहले ही उत्पादन में कमी आ जाती है।
हम वास्तव में क्या डिज़ाइन करते हैं?
हमने ऐसी मशीनें ऐसे ही डिज़ाइन की हैं, जिनमें तापमान नियंत्रण बेहतरीन हो, एवं कणों का उत्पादन भी न्यूनतम हो। वेफर के क्षेत्र में तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखा जाता है… ताकि हर बार बेकिंग प्रक्रिया समान ही हो। हीटर मॉड्यूल शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तकनीक पर आधारित है… इसलिए यह तेज़ एवं सीधे ही प्रतिक्रिया देता है… जिससे तापमान-विचलन कम हो जाता है।
क्लीनरूम संबंधी आवश्यकताओं को भी इस मशीन में ध्यान में रखा गया है… क्लास 1–100 मानकों के अनुरूप ही इसका निर्माण किया गया है… कोई भी कण उत्पन्न नहीं होता… एवं वेंटिलेशन प्रणाली ऐसी है कि संदूषण प्रक्रिया-कक्ष में न जा सके। विश्वसनीयता के लिए, घटकों को 24/7 काम करने हेतु डिज़ाइन किया गया है… एवं प्रणाली को बिना किसी व्यवधान के कई शिफ्टों में काम करने हेतु भी वैलिडेट किया गया है।
यह क्यों उपयुक्त है?
बैटरी सेपरेटर फिल्मों को सूखाने हेतु ऐसी मशीनें आवश्यक हैं… क्योंकि यही लिथोग्राफी एवं रेजिस्ट प्रसंस्करण प्रक्रियाओं के अनुरूप है… अन्यथा यह प्रक्रिया में कमजोरी बन जाएगी। इस सेटअप के द्वारा, अपूर्ण सूखने एवं अन्य समस्याओं से बचा जा सकता है… साथ ही, ऊर्जा-खपत भी कम हो जाती है। परिणामस्वरूप, उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद प्राप्त होते हैं… एवं तापमान-संबंधी समस्याओं से भी बचा जा सकता है।
ये हैं व्यावहारिक विवरण:
यह तो आयातित उच्च-सटीकता वाले ऊष्मीय उपकरणों का ही एक विकल्प है… जो अंतरराष्ट्रीय सेमीकंडक्टर उपकरण मानकों के अनुरूप है। रीटोफिट हेतु, वेंटिलेशन प्रणाली को ठीक से समायोजित करना आवश्यक है… ताकि कोई व्यवधान न हो। PID सेटपॉइंट्स को अपनी विशिष्ट फिल्म-स्टैक एवं लाइन-गति के अनुरूप समायोजित करना आवश्यक है… ऐसा करने से प्रक्रिया नियमित एवं पूर्वानुमेय रहती है।