फैब फ्लोर पर, रिंसिंग स्टेप एक नियंत्रित जोखिम है। बची हुई पानी का मतलब माइक्रो-कंटैमिनेशन होता है, और कमजोर ड्राई साइकिल फोटोरेसिस्ट पुनःकार्य को मजबूर कर सकती है—या पैटर्न के वेफर पर पहुंचने से पहले ही यील्ड को प्रभावित कर सकती है। रिंस के बाद तेज़ सूखने वाला वेफर लैंप इस अनिश्चितता को खत्म करने के लिए बनाया गया था।
क्या महत्वपूर्ण है
हमने इसे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (SWIR) इमिटर के इर्द-गिर्द डिजाइन किया है, जिससे ड्राईंग तेज़ और नॉन-कॉन्टैक्ट होती है। गर्मी तेज़ी से ट्रांसफर होती है बिना किसी यांत्रिक क्षति के, और हम वेफर पर थर्मल यूनिफॉर्मिटी ±0.1°C के भीतर बनाए रखते हैं। यह महत्वपूर्ण होता है जब आप फोटोरेसिस्ट के थर्मल बजट की सुरक्षा करते हैं, सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक ट्रांजिशन के दौरान।
हार्डवेयर क्लीनरूम-नेटिव है: Class 1–100 के अनुकूल, जिसमें नॉन-ज़ीरो पार्टिकल जेनरेशन नहीं होता। आउटपुट 5,000+ घंटे तक स्थिर रहता है, जिसमें इंटेंसिटी में 5% से कम ड्रिफ्ट होता है। और रिपीटेबिलिटी इस प्रकार स्पेसिफाइड है कि प्रक्रिया विंडो लॉट के बाद लॉट, शिफ्ट के बाद शिफ्ट समान बनी रहे।
यह उत्पादन में कैसे व्यवहार करता है
रिंस-ड्राई-बेक फ्लो में, गति सफाई की कीमत पर नहीं आ सकती। यह लैंप ड्राईंग विंडो को कम करता है जबकि सतह की समग्रता को बरकरार रखता है, जिससे पिच कंट्रोल सख्त होता है और लिथोग्राफी में दोष की संख्या कम होती है।
यह ऊर्जा कुशल भी है: SWIR प्रतिक्रिया डायरेक्ट होती है, जिससे ऊर्जा की खपत घटती है। सिस्टम 24/7 ऑपरेशन के लिए बनाया गया है, जिससे अपटाइम बढ़ता है और मेंटेनेंस इंटरवल की योजना बनाई जा सकती है। आपके लिए इसका मतलब है कम एक्सकर्शन, सख्त क्रिटिकल डाइमेंशन कंट्रोल, और मापने योग्य साइकिल-टाइम में कमी।
क्या सही करना आवश्यक है
लैंप साफ़-सुथरे ढंग से इंटीग्रेट होता है, लेकिन रिंस मॉड्यूल के साथ अलाइनमेंट बिल्कुल सटीक होना चाहिए, और एग्जॉस्ट पथ का सत्यापन आवश्यक है—आपको ट्रेस मॉइस्चर वेपर को खींचकर हटाना होता है बिना किसी पुनः-डिपोजिशन के। यह स्टैण्डर्ड फैब इंटरफेस के साथ काम करता है, लेकिन थर्मल प्रोफाइल को सब्सट्रेट स्टैक के अनुसार ट्यून करना होता है। ग्लास, सिलिकॉन, और एडवांस्ड पैकेजिंग सब्सट्रेट्स के लिए प्रत्येक के लिए अलग सेटपॉइंट मैप चाहिए।
रेसिपी लॉक करने के लिए एक छोटा कमीशनिंग रन प्लान करें। फिर इसे रिपीटेबिलिटी के लिए लॉक रखें।