वेफरों को सही तापमान पर रखना
यदि आपने कभी सिलिकॉन वेफरों के साथ काम किया है, तो आपको पता होगा कि वे कितने संवेदनशील होते हैं। यदि तापमान नियंत्रण में कोई गलती हो जाए, तो वेफर विकृत हो जाता है… यह वाकई एक बड़ी समस्या है। ऐसी स्थिति से बचने हेतु, हम अपने क्लीन रूम लैंपों में सोने से ढके रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं। सोना क्यों? क्योंकि हम उस कीमती ऊर्जा को लैंप के आंतरिक हिस्सों में जाने देना नहीं चाहते… क्योंकि वहाँ उसका कोई उपयोग ही नहीं होता।
सोने का उपयोग क्यों?
अल्यूमीनियम रिफ्लेक्टर तो आम हैं, लेकिन वे बहुत अधिक ऊर्जा अवशोषित कर लेते हैं… इसलिए वे इस काम हेतु पर्याप्त नहीं हैं।
सोना अलग है… यह इन्फ्रारेड प्रकाश को अन्य किसी चीज़ की तुलना में बेहतर तरीके से परावर्तित करता है… इससे फोटॉन गलत दिशा में नहीं जाते, बल्कि सीधे वेफर पर ही पड़ते हैं।
सबसे अच्छी बात यह है कि आपको वांछित जगह पर ही अधिक ऊष्मा मिलती है… इससे आपका बिजली बिल कम रहता है, एवं वेफर भी जल्दी ही वांछित तापमान तक पहुँच जाता है।
ऊष्मा का प्रबंधन
लेकिन यहाँ एक समस्या है… जब इतनी अधिक ऊर्जा उत्पन्न होती है, तो चीजें बहुत गर्म हो जाती हैं।
चूँकि सोने की परत बहुत ही कुशल है, इसलिए इससे बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है… इसलिए आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपका कूलिंग सिस्टम इस ऊष्मा को सहन कर सके। यदि लैंप का वेंटिलेशन सही न हो, तो वह ऊष्मा आंतरिक हिस्सों को नष्ट कर सकती है।
हम उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज ट्यूबों का भी उपयोग करते हैं… वेफर निर्माण में थोड़ी सी भी गंदगी सब कुछ बर्बाद कर सकती है… इसलिए हम वेफरों को कारखाने से निकालने से पहले उन पर मौजूद सभी कार्बनिक अवशेषों को हटा देते हैं… “लगभग साफ” पर्याप्त नहीं है।
अपने कारखाने में इन लैंपों का उपयोग
ये लैंप, मानक IR लैंपों के स्थान पर आसानी से उपयोग में आ सकते हैं।
हम फोकल लंबाई पर बहुत ध्यान देते हैं… हम चाहते हैं कि वेफर पर कोई “ठंडा स्थान” न रहे… यदि आपको लगे कि तापमान समान नहीं है, तो घबराइए मत… आमतौर पर यह सिर्फ तत्व एवं रिफ्लेक्टर के बीच की गलत संरेखण के कारण होता है… थोड़ा सा समायोजन करने से ही समस्या हल हो जाती है।
स्थापना हेतु कुछ उपयोगी सुझाव:
*स्थिर PID नियंत्रक का उपयोग करें… इससे तापमान नियंत्रित रहता है, एवं वेफर क्षतिग्रस्त नहीं होता।
*दस्ताने पहनें… सोने की परत उंगलियों के निशानों को बर्दाश्त नहीं करती… आपकी त्वचा से निकलने वाला तेल सतह पर निशान छोड़ सकता है… जिसे हटाना मुश्किल है।