गर्म हवा का उपयोग बंद करें: वैक्यूम आईआर ही सही विकल्प है
यदि आप अभी भी सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण हेतु गर्म हवा का उपयोग कर रहे हैं, तो आपने निश्चित रूप से इसकी धीमी गति को महसूस किया होगा। यह बहुत ही निराशाजनक है… आपको पूरे चेम्बर एवं उसमें मौजूद हर वायु-अणु के गर्म होने का इंतजार करना पड़ता है, तब जाकर ही वेफर गर्म होता है। यह एक बहुत ही धीमी प्रक्रिया है, जो आपकी गति को धीमा कर देती है।
इसीलिए हमने वैक्यूम आईआर हीटरों का उपयोग शुरू किया। हमने हवा का उपयोग ही बंद कर दिया।
गति तो अद्भुत है।
आईआर हीटर विद्युत-चुम्बकीय विकिरण का उपयोग करते हैं। वैक्यूम में कोई भी बाधा नहीं होती… फोटॉन सीधे ही सब्सट्रेट पर पड़ते हैं। कमरे को गर्म करने की कोई आवश्यकता नहीं है… न ही गर्मी को फैलाने हेतु हवा की कोई आवश्यकता है। इससे तुरंत ही ऊष्मा प्राप्त हो जाती है।
किसी फैक्ट्री प्रबंधक के लिए यह तो सपना ही है… 20 मिनट लगने वाली प्रक्रिया को कुछ ही सेकंडों में पूरा किया जा सकता है।
लेकिन आप वहाँ कोई भी लैंप नहीं लगा सकते… वैक्यूम वातावरण में हार्डवेयर को बहुत नुकसान पहुँचता है। हम उच्च-वाट घनत्व वाले क्वार्ट्ज तत्वों का उपयोग करते हैं, ताकि ऊष्मा एकाग्र रहे… लेकिन चूँकि वहाँ हवा ही नहीं होती, इसलिए उपकरणों को बहुत नुकसान पहुँचता है।
अपने कूलिंग सिस्टम पर ध्यान दें… यदि आपका कूलिंग सिस्टम अपव्ययित ऊष्मा को संभालने में सक्षम न हो, तो चेम्बर के माउंट्स या सीलों को नुकसान पहुँच सकता है… यह तो बहुत ही परेशानीदायक है।
लेकिन अच्छी बात यह है कि आपके उपकरणों का आकार छोटा हो जाता है… आप उन बड़े-बड़े ब्लोअरों एवं डक्टों की आवश्यकता ही नहीं रखते… आप बस आईआर हीटरों को जोड़ देते हैं, PID कंट्रोलरों को सेट कर देते हैं… और बस।
लेकिन एक समस्या तो है… यदि आप सावधान न रहें, तो ऊष्मा केवल कुछ ही जगहों पर ही पड़ेगी… हम इस समस्या को दूर करने हेतु सोने से ढके रिफ्लेक्टरों या बहु-कोणीय व्यवस्थाओं का उपयोग करते हैं… ताकि ऊष्मा पूरे हिस्से में फैल सके।
इसके अलावा, स्वच्छता का भी महत्व है… जब हवा का प्रवाह बंद हो जाता है, तो कोई भी कण या अशुद्धि वहाँ नहीं रहती… कोई जोखिम ही नहीं है… सिर्फ स्वच्छ, प्रत्यक्ष विकिरण ही है।