वैक्यूम चैंबर इन्फ्रारेड हीटर

Fri, 17 Jul 2026 01:35:35 +0800

गर्म हवा का उपयोग बंद करें: वैक्यूम आईआर ही सही विकल्प है

यदि आप अभी भी सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण हेतु गर्म हवा का उपयोग कर रहे हैं, तो आपने निश्चित रूप से इसकी धीमी गति को महसूस किया होगा। यह बहुत ही निराशाजनक है… आपको पूरे चेम्बर एवं उसमें मौजूद हर वायु-अणु के गर्म होने का इंतजार करना पड़ता है, तब जाकर ही वेफर गर्म होता है। यह एक बहुत ही धीमी प्रक्रिया है, जो आपकी गति को धीमा कर देती है।

वैक्यूम संगत इन्फ्रारेड हीटर

Wed, 17 Jun 2026 11:28:58 +0800

300 मिमी वाली लाइनों पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान आधा डिग्री का भी विचलन, वायरलाइनों की चौड़ाई को प्रभावित करने हेतु पर्याप्त है; ऐसी स्थिति में बहुत सारा काम बर्बाद हो जाता है। यही कारण है कि हमने ऐसा वैक्यूम-संगत आईआर हीटर विकसित किया – ऐसी स्थितियों में ऊष्मा संबंधी मापदंड बहुत ही महत्वपूर्ण होते हैं, एवं क्लीनरूम में मौजूद कणों की संख्या भी अत्यंत कम होती है।

तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
हम क्वार्ट्ज सेटअप में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं; इससे ऊष्मा सीधे फोटोरेजिस्ट एवं सब्सट्रेट तक पहुँचती है। प्रतिक्रिया समय एक सेकंड से भी कम है, एवं किसी संपर्क की आवश्यकता नहीं है। प्रक्रिया क्षेत्र में वेफर की समानता ±0.1°C तक बनी रहती है, एवं विभिन्न बैचों में तापमान में विचलन ≤0.2°C तक ही रहता है।
यह हीटर मानकीकृत फ्लैंजों के माध्यम से वैक्यूम चैंबरों एवं फैब टूलों में लगाया जा सकता है; इसमें RF/DC शील्डिंग भी शामिल है। यह Class 1–100 वाले वातावरण में भी स्वच्छ रहता है, एवं इससे कोई कण नहीं उत्पन्न होता। तापमान को कैलिब्रेटेड पायरोमेट्री के माध्यम से नियंत्रित किया जाता है, एवं तापीय प्रोफ़ाइल NIST-आधारित मानकों के अनुरूप ही होती है।

वैक्यूम on Warm IR Heater Store

वैक्यूम चैंबर इन्फ्रारेड हीटर

गर्म हवा का उपयोग बंद करें: वैक्यूम आईआर ही सही विकल्प है

वैक्यूम संगत इन्फ्रारेड हीटर