अर्धचालक उपकरणों के गुणन मूल्यांकन हेतु हीटर

Sat, 20 Jun 2026 02:05:56 +0800

फोटोरेजिस्ट की स्थिरता, उत्पादन प्रक्रिया में कोई ऐसी चीज नहीं है जिसे “अच्छा होना चाहिए”… बल्कि यह तो उत्पादन प्रक्रिया का ही हिस्सा है। सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान 1°C का भी अंतर, पूरी थर्मल प्रक्रिया को प्रभावित कर देता है… और इसका प्रभाव तुरंत ही देखने को मिलता है। हमने अपने सेमीकंडक्टर उपकरणों में ऐसे ही हीटरों का उपयोग किया, ताकि ऐसी समस्याओं से बचा जा सके।

वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
वेफर की सक्रिय सतह पर तापमान में ±0.1°C की एकरूपता होनी आवश्यक है… ताकि हर बार फोटोरेजिस्ट का उपयोग निर्धारित मानकों के अनुसार ही हो सके। क्लीनरूम क्लास 1–100 का पालन करना आवश्यक है… इसके लिए कण-रहित डिज़ाइन एवं कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया जाता है। शून्य कणों का उत्पादन होने से दोषों की संख्या कम रहती है… एवं हीटर 24/7 चलता रहता है, बिना किसी रुकावट के। पुनरावृत्ति की क्षमता केवल दावे में ही नहीं, बल्कि वास्तव में भी मापी जाती है… हर बार एक ही तापमान प्राप्त होता है।

Characterization on Warm IR Heater Store

अर्धचालक उपकरणों के गुणन मूल्यांकन हेतु हीटर