Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Mengeringkan wafer sensor MEMS membutuhkan kehati-hatian yang tinggi. Anda perlu menghilangkan air dari wafer tersebut secepat mungkin, tetapi jika menggunakan panas secara berlebihan, ada risiko wafer menjadi rusak atau terkontaminasi.
Kuncinya adalah memastikan bahwa panas benar-benar sampai ke tempat yang dituju. Sebagian besar mesin membuang banyak energi untuk memanaskan bagian logamnya. Kami mengatasi hal ini dengan menggunakan pemanas inframerah khusus yang dipadukan dengan reflektor berlapis emas.
Mengapa emas?
Aluminum memang digunakan sebagai bahan standar, tetapi kualitasnya tidak begitu baik. Aluminum menyerap terlalu banyak energi inframerah. Sedangkan emas berbeda; di spektrum inframerah dekat, emas dapat memantulkan lebih dari 98% energi tersebut. Dengan demikian, panas akan langsung ditujukan ke wafer, tanpa harus meningkatkan daya lampu.
Bagian yang sulit: Panas dan Daya
Saat memilih pemanas ini, Anda perlu memperhatikan besarnya daya dan luas permukaannya. Lampu berdaya tinggi memang efektif untuk mempercepat proses pengeringan, tetapi suhunya sangat tinggi. Jika sistem pendinginan tidak mampu menangani panas yang dihasilkan, maka wafer akan rusak. Itulah sebabnya kami meluangkan waktu untuk menyetel titik fokus pemanas agar tepat mengenai permukaan wafer.
Memastikan kerja yang efisien
Pemanas ini dirancang untuk digunakan sebagai pengganti array inframerah biasa. Kami memperhatikan jarak antara pemancar dan reflektor, karena di situlah terjadi “zona mati” – area di mana panas tidak efektif.
Perlu diingat: emas merupakan bahan yang lembut. Emas tidak tahan terhadap pembersihan yang kasar seperti aluminium. Jika menggunakan pembersih yang kasar, permukaan emas akan tergores. Hal ini akan mengurangi efisiensi pemanas dan meningkatkan biaya operasional. Gunakan saja pembersih optik yang disarankan untuk hasil yang maksimal.