Hentikan pengaruh ozon terhadap peralatan Anda
Saat bekerja di pabrik semikonduktor, hal terakhir yang diinginkan adalah adanya kontaminasi. Proses pengeringan dan pemanasan perlu berjalan tanpa meninggalkan jejak apa pun pada wafer, serta tidak merusak kondisi ruang kerja yang bersih.
Inilah mengapa lampu inframerah yang bebas ozon sangat penting. Sebagian besar lampu inframerah standar memiliki kebiasaan memancarkan radiasi dalam rentang 185nm hingga 254nm. Masalahnya adalah radiasi ini akan bereaksi dengan oksigen di udara, sehingga menghasilkan ozon. Di pabrik semikonduktor, ozon merupakan ancaman serius; ia dapat merusak komponen peralatan dan substrat tanpa kita sadari.
Cara mengatasi masalah ini sebenarnya cukup sederhana.
Kita bisa menggunakan kemasan kuarsa khusus atau filter internal untuk menahan pancaran sinar VUV. Dengan memblokir segala gelombang di bawah 200nm, kita dapat menghilangkan produk sampingan kimia tersebut. Yang tersisa hanyalah energi termal murni.
Yang lebih baik lagi, kita dapat menggunakan sistem pemanasan berintensitas tinggi tanpa perlu memasang sistem ekstraksi udara yang rumit. Dengan demikian, ruangan akan tetap bersih.
Prosesnya juga jauh lebih cepat.
Bayangkan oven konvensional: udara harus dipanaskan terlebih dahulu, lalu udara itulah yang memanaskan benda yang akan diproses. Prosesnya lambat. Berbeda dengan inframerah; energi dipindahkan langsung ke benda yang akan diproses.
Selain itu, sistem ini lebih efisien. Waktu proses menjadi lebih singkat. Kita juga dapat membagi area pemrosesan menjadi beberapa zona, sehingga energi tidak terbuang sia-sia ketika hanya satu bagian saja yang membutuhkan panas.
Tapi ada satu catatan penting.
Lampu inframerah berintensitas tinggi akan menjadi sangat panas, terutama di bagian kepala lampu. Meskipun prosesnya ramah lingkungan, peralatan tetap akan terkena dampak negatifnya.
Jangan mengurangi fungsionalitas kipas pendingin atau sistem pendingin air. Jika sistem pendingin tidak cukup kuat, ujung-ujung lampu akan overheat dan rusak lebih cepat. Ini tentu merupakan cara yang menyebalkan untuk kehilangan lampu tersebut.
Dengan beralih ke lampu inframerah yang bebas ozon, segalanya akan menjadi lebih mudah. Anda tidak perlu khawatir lagi tentang monitor gas berbahaya, dan Anda juga dapat memenuhi persyaratan “ramah lingkungan” tanpa kesulitan. Ini merupakan cara termudah untuk menciptakan lingkungan kerja yang lebih bersih dan tenang.