Smettete di utilizzare l’aria calda: perché i riscaldatori a infrarossi a vuoto sono la soluzione migliore
Se ancora utilizzate l’aria calda per il processo di lavorazione dei semiconduttori, probabilmente avrete notato i tempi lunghi necessari per ottenere i risultati desiderati. È frustrante: in pratica si deve aspettare che tutta la camera e ogni singola molecola d’aria all’interno si riscaldino, prima che il wafer possa percepire qualcosa. È un processo lento che compromette l’efficienza del processo stesso.
Ecco perché abbiamo passato ai riscaldatori a infrarossi a vuoto. In questo modo eliminiamo completamente l’aria dal processo di riscaldamento.
La velocità è incredibile.
I riscaldatori a infrarossi utilizzano radiazioni elettromagnetiche. In condizioni di vuoto, non c’è nulla che possa ostacolare il passaggio delle radiazioni. I fotoni colpiscono direttamente il substrato. Non c’è bisogno di attendere che l’aria trasporti il calore: si ottiene una risposta termica quasi istantanea.
Per un responsabile di produzione, questo rappresenta davvero un vantaggio enorme: i tempi di riscaldamento passano da 20 minuti a pochi secondi.
Ma non basta semplicemente installare una lampada qualsiasi. Gli ambienti a vuoto sono molto aggressivi per i componenti elettronici. Utilizziamo elementi di quarzo ad alta densità di potenza per concentrare il calore, ma poiché non c’è aria che possa dissipare il calore in eccesso, i dispositivi vengono gravemente danneggiati.
Prestate attenzione ai sistemi di raffreddamento. Se i sistemi di raffreddamento non sono abbastanza efficaci per gestire il calore in eccesso, potrebbero danneggiarsi i componenti della camera o i sigilli utilizzati per proteggerla. È un problema che sicuramente non vorrete affrontare.
Il bello è che lo spazio necessario per l’installazione diminuisce notevolmente. Potete eliminare quei grandi ventilatori e tutti quei tubi complessi. Basta collegare i riscaldatori a infrarossi, impostare i regolatori PID e il gioco è fatto.
C’è però un aspetto da considerare: l’uniformità del riscaldamento. I raggi infrarossi sono direzionali, quindi se non si fa attenzione, si possono creare zone troppo calde. Per evitare questo problema, utilizziamo riflettori rivestiti d’oro o array multiangolari per distribuire uniformemente il calore sul componente da riscaldare.
Inoltre, c’è anche il fattore della pulizia. Quando si smette di far circolare l’aria, si eliminano anche le particelle e le turbolenze presenti nell’ambiente di lavoro. Niente sporco, niente rischi. Solo radiazioni purificate e direzionate.