Lampada a infrarossi impermeabile per sciacquo

Tue, 14 Jul 2026 12:01:26 +0800

Fermate i frammenti di vetro: un modo migliore per utilizzare le lampade a infrarossi nei processi di lavaggio
Se gestite una produzione su larga scala di wafer, conoscete sicuramente quel scenario disastroso: nelle fasi di lavaggio vengono utilizzate lampade a infrarossi, ma improvvisamente una delle lampade si rompe. È un disastro: il tubo di quarzo si rompe e i frammenti di vetro, insieme ai residui chimici, finiscono sui wafer. In questo modo, l’intera serie di wafer diventa inutilizzabile.

Lampada per asciugatura rapida della cialda dopo il risciacquo

Wed, 03 Jun 2026 01:26:39 +0800

Sulla linea di produzione, la fase di risciacquo rappresenta un rischio controllato. L’acqua residua implica micro-contaminazioni, e un ciclo di asciugatura debole può costringere a rifare il fotoresist oppure compromettere la resa prima ancora che il pattern venga trasferito sul wafer. La lampada per asciugatura rapida post-risciacquo è stata progettata per eliminare questa incertezza.

Cosa conta sotto il cofano
Il sistema è basato su emettitori a infrarosso a onda corta (SWIR), per garantire un’asciugatura rapida e senza contatto. Il calore si trasferisce velocemente senza provocare danneggiamenti meccanici, mantenendo inoltre un’uniformità termica sul wafer di ±0,1°C. Questo è essenziale per proteggere il budget termico del fotoresist durante le transizioni tra soft bake e hard bake.

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Lampada a infrarossi impermeabile per sciacquo

Lampada per asciugatura rapida della cialda dopo il risciacquo