http://warm-ir-heater-store.com/ja/tags/%E3%82%A2%E3%82%AF%E3%82%BB%E3%83%AA%E3%82%B9/ Recent content in アクセリス on Warm IR Heater Store Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 01:37:30 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/ja/posts/axcelis-heater-element-spare/ Tue, 30 Jun 2026 01:37:30 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/ja/posts/axcelis-heater-element-spare/ <p><img src="http://warm-ir-heater-store.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="アクセリスのヒーター素子の交換用部品"></p> <p>リソグラフィー工程において、ベイクモジュールは<a href="https://o-yate.com">妥協</a>を許しません。ソフトベイクではフォトレジストの応力を調整し、溶剤を除去します。一方、ハードベイクではエッチング処理の前にフォトレジストの形状を固定します。Axcelisヒーター要素の位置がずれると、温度の均一性が失われます。その結果、ウェーハ全体でCDのずれやエッジビードが発生します。エッチャーがウェーハに触れる前から、歩留まりが低下してしまいます。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 私たちは、熱制御の観点からAxcelisヒーター要素のスペア部品を指定しています。短波または中波のIR光源を使用した石英基板を使えば、迅速な温度上昇が可能で、熱インピーダンスも低くなります。目標とするのは、ホットゾーン全体で±0.1℃の温度均一性です。そうすれば、フォトレジストのベイクプロファイルもロット間で再現性が保たれます。このヒーター要素は、定格電圧および電力密度で動作し、ホットスポットが発生しません。また、パッケージの形状も元のものと同じで、取り付け用のボスや端子ブロックも含まれています。使用される材料はクラス1～100のクリーンルーム環境に適しており、粒子の発生もほとんどありません。</p>