http://warm-ir-heater-store.com/ja/tags/%E8%87%AA%E5%8B%95%E5%8C%96%E3%81%95%E3%82%8C%E3%81%A6%E3%81%84%E3%82%8B/ Recent content in 自動化されている on Warm IR Heater Store Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 03:14:23 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/ja/posts/automated-wafer-drying-heater/ Thu, 02 Jul 2026 03:14:23 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/ja/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-store.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="自動ウエハー乾燥ヒーター"></p> <p>300mmプロセスにおいては、乾燥/焼成の<a href="https://o-yate.com">工程</a>で0.1°C未満の温度変動でも決して「小さな変動」とは言えないことがすぐにわかります。このような微細な温度変動によっても、重要な寸法に数ナノメートル単位の誤差が生じ、粒子数にも悪影響を与えます。自動化されたウェーハ乾燥ヒーターは、単なる加熱装置に過ぎません。実際には、フォトレジストのソフトベイクやハードベイク、そして洗浄後の乾燥処理において重要な役割を果たし、最終的にそのウェーハが出荷されるか廃棄されるかを決定づけるのです。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 私たちは、クリーンルーム環境に適したサーマルモジュールを基盤として乾燥ヒーターを設計しました。これにより、チャック全体でウェーハの温度が±0.1°C以内に保たれ、24時間ごとの設定値の安定性も±0.2°C以下です。温度の上昇速度もフォトレジストの特性に合わせて制御されるため、溶剤の急激な蒸発や表面の損傷が防がれます。また、チャンバーや排気経路は、粒子を一切放出しないように設計されており、ISOクラス1～100の厳格な環境が維持されます。ロット間の再現性は±0.3°C以内であり、これにより何度繰り返しても同じ品質が得られます。</p>