要素 on Warm IR Heater Store

グローブボックス用赤外線ヒーター素子

Wed, 29 Jul 2026 03:27:02 +0800

なぜ、私たちはグローブボックス内で使用される赤外線ヒーターのテストにこだわるのか？グローブボックス内で作業を行う際、通常は揮発性の化学物質や不活性ガスを扱います。そのような環境では、ヒーターの故障は単なる面倒な問題にとどまらず、深刻な安全上の危険を招きます。私たちが製造する赤外線ヒーターは、このような厳しい環境に耐えられるように設計されていますが、その性能は、製品が工場を出る前に行われるテストの結果次第です。

交換用ヒーター要素 IP65

Fri, 17 Jul 2026 01:42:49 +0800

ヒーターを修理するために機械を分解するのはやめましょう。
ほとんどの産業用ヒーターは、設置した後はそのまま放置されてしまいます。そして5年後に故障してしまった時、本当に厄介なのは部品の代金ではなく、機械の停止による損失です。壊れた部分を直すために、何時間も、あるいは何日もかけて機械全体を分解しなければなりません。これは誰にとっても面倒なことです。
私たちはその問題を解決しようと思いました。
交換してすぐに再稼働可能
私たちが作った赤外線モジュールは「プラグアンドプレイ」方式で動作します。ケースにすべての配線を固定する必要はなく、簡単に接続できます。まるでバッテリーを交換するような感覚です。壊れたチューブを取り出し、新しいものを挿入するだけです。制御パネルの配線を変更する必要もなく、ドライバーで苦労する必要もありません。数分で済みます。また、メンテナンス領域が小さいため、コンベヤーベルトや保護装置を解除する必要もありません。
IP65規格の利点
防塵・防水性能（IP65）を持たせるためには、通常、機器を開けることが難しくなります。しかし、私たちはシールをメインフレームではなく、モジュール本体の中に配置しました。圧縮式のガスケットを使用しており、十分な耐久性があります。
ただし、注意点があります。これらのシールは工場内の汚れや水を防ぐのには優れていますが、端子ブロック周辺の熱を閉じ込めてしまいます。そのため、キャビネットの換気が十分でないと、配線の絶縁体が早く劣化してしまいます。
長期的な視点で考える
正直に言って、5年間使用していると、石英チューブや反射板は徐々に性能が低下します。モジュール式の構造なら、全体的に機器を廃棄する必要はありません。最も劣化している部分だけを交換すればよいのです。これにより、システム全体を再構築する手間なしに、元の性能に戻すことができます。私たちは、長期間使えるように設計しましたが、同時に、修理が簡単にできるようにも設計しました。

アクセリスのヒーター素子の交換用部品

Tue, 30 Jun 2026 01:37:30 +0800

リソグラフィー工程において、ベイクモジュールは妥協を許しません。ソフトベイクではフォトレジストの応力を調整し、溶剤を除去します。一方、ハードベイクではエッチング処理の前にフォトレジストの形状を固定します。Axcelisヒーター要素の位置がずれると、温度の均一性が失われます。その結果、ウェーハ全体でCDのずれやエッジビードが発生します。エッチャーがウェーハに触れる前から、歩留まりが低下してしまいます。

技術的に重要な点 私たちは、熱制御の観点からAxcelisヒーター要素のスペア部品を指定しています。短波または中波のIR光源を使用した石英基板を使えば、迅速な温度上昇が可能で、熱インピーダンスも低くなります。目標とするのは、ホットゾーン全体で±0.1℃の温度均一性です。そうすれば、フォトレジストのベイクプロファイルもロット間で再現性が保たれます。このヒーター要素は、定格電圧および電力密度で動作し、ホットスポットが発生しません。また、パッケージの形状も元のものと同じで、取り付け用のボスや端子ブロックも含まれています。使用される材料はクラス1～100のクリーンルーム環境に適しており、粒子の発生もほとんどありません。