チャンバーの壁にエネルギーを無駄にしないでください。 ウェーハを加熱するときは、そのエネルギーが基板に直接当たることが必要です。エネルギーが周囲に散乱してチャンバーの壁に吸収されてしまっては困ります。 問題は、一般的な赤外線ランプはあらゆる方向に熱を放出するという点です。狭い半導体製造装置の中では...

なぜ、古いバスルーム用のハロゲンランプ式ヒーターを防水型の赤外線ヒーターに変えるべきか 正直に言うと、バスルームで使われている昔ながらのハロゲンランプ式ヒーターはあまり良くありません。空気を温めようとはしていますが、シャワーを浴び終わった瞬間にその暖かさは消えてしまいます。 だからこそ、ますます多...