ウェーハの温度を適切にコントロールする方法 シリコンウェーハを扱ったことがある人なら、その繊細さがよくわかるでしょう。熱を加える際に少しでも間違えると、ウェーハが歪んでしまいます。これは本当に厄介な問題です。そうした事態を防ぐために、私たちはクリーンルーム用のランプに金メッキされた反射板を使用して...

クリーンルーム用ヒーターを安全かつ無菌の状態に保つために クリーンルームでは、ほんのわずかなほこりでも大問題です。電気的な故障が起きれば、それは悪夢そのものです。このような場所向けに赤外線ヒーターを製造する際、加熱要素自体を正しく作るだけでは不十分です。実際に重要なのは、すべてのランプ管が出荷され...

壊れたランプが生産効率を低下させるのを防ごう 高負荷のファブでは、壊れた赤外線ランプは単なる厄介者に過ぎません。それはまさに悪夢です。 石英管が壊れると、単に割れるだけでなく、ガラスの破片や化学物質がウェーハに直接飛び散ります。一度壊れると、一回分の製品が廃棄処分になってしまいます。これは本当に辛...

ウェーハを清潔に保つために：トロリーヒーターの真実 大量生産の工場では、輸送用トロリー内の赤外線ランプが壊れると、それは単なる厄介事では済みません。まさに悪夢です。 石英管が破損すると、単に壊れるだけでなく、微細なガラス片や電極の破片があちこちに飛び散ります。もしそれがウェーハに当たってしまうと、...

時間の無駄をやめよう：なぜIR加熱がクリーンルームで優れているのか 半導体の精密加工を行っている人なら、「時間というコスト」の大きさを知っているはずです。長年、強制送風方式に依存してきましたが、正直言って、これは非効率的です。まず空気を温め、次にオーブンの壁を温め、最後に基板を温める必要があります...

Introduction 赤ちゃんの部屋用のヒーターを設計するにあたり、譲れない条件が一つありました。それは、やけどのリスクを伴わない、暖かく安定した熱です。 そこで、コンパクトなハロゲン赤外線管を中心に設計しました。焦点を絞った暖房で、操作は簡便です。これは一般的な大型のスペースヒーターではなく...