램 리서치 히터 교체

우리는 고도화된 웨이퍼 처리 공정에서 요구되는 극심한 열을 견딜 수 있도록 이 램 리서치용 히터를 설계했습니다. 핵심은 매번 일정한 온도를 유지하는 것입니다. 오차는 0.1°C 이내로 제한됩니다. 공정의 정밀도가 나노미터 단위로 측정될 때, 온도 변동은 단순한 허용...