http://warm-ir-heater-store.com/ko/tags/%EC%95%A1%EC%85%80%EB%A6%AC%EC%8A%A4/ Recent content in 액셀리스 on Warm IR Heater Store Hugo ko Tue, 30 Jun 2026 01:37:30 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/ko/posts/axcelis-heater-element-spare/ Tue, 30 Jun 2026 01:37:30 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/ko/posts/axcelis-heater-element-spare/ <p><img src="http://warm-ir-heater-store.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="액셀리스 히터 소자 예비부품"></p> <p>리소그래피 공정에서는 베이크 모듈이 매우 중요한 역할을 합니다. 소프트 베이크는 포토레지스트의 스트레스를 줄이고 용매를 제거해 주며, 하드 베이크는 에칭 단계 이전에 포토레지스트의 형태를 고정시켜 줍니다. 만약 액셀리스 히터 요소의 위치가 변하면 온도의 균일성이 떨어집니다. 그 결과 웨이퍼 전체에 걸쳐 CD 변동, 가장자리 불균일성 등이 발생합니다. 에칭 공정이 시작되기 전부터 이미 생산 효율이 떨어지게 됩니다.</p>