http://warm-ir-heater-store.com/ko/tags/%EC%9E%90%EB%8F%99%ED%99%94%EB%90%9C/ Recent content in 자동화된 on Warm IR Heater Store Hugo ko Thu, 02 Jul 2026 03:14:23 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/ko/posts/automated-wafer-drying-heater/ Thu, 02 Jul 2026 03:14:23 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/ko/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-store.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="자동 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>300mm 공정에서는, 건조/베이킹 단계에서 0.1°C 미만의 온도 변동도 결코 ‘작은 변동’이 아니라는 것을 금방 알게 됩니다. 이러한 미세한 온도 변동도 나노미터 단위로 치명적인 영향을 미치며, 입자 수에도 부정적인 영향을 줍니다. 자동화된 웨이퍼 건조 히터는 단순히 추가적인 열을 제공하는 장치가 아닙니다. 이는 포토레지스트의 소프트 베이킹 및 하드 베이킹 과정에서 필수적인 역할을 하며, 세척 후 건조 과정에서도 중요한 역할을 합니다. 이 과정을 통해 제품이 출하될지, 아니면 폐기될지가 결정됩니다.</p>