Cara Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Mengeringkan wafer sensor MEMS memerlukan keseimbangan yang tepat. Air perlu dihilangkan secepat mungkin, tetapi jika kita menggunakan haba yang berlebihan, ia boleh merosakkan wafer tersebut atau mencemarkan keseluruhan batch wafer tersebut.
Rahsianya adalah memastikan haba tersebut sampai ke tempat yang sepatutnya. Kebanyakan mesin membuang banyak tenaga untuk memanaskan badan logamnya. Kami mengatasi masalah ini dengan menggunakan pemanas inframerah khusus bersama-sama dengan reflektor yang dilapisi emas.
Mengapa emas?
Aluminium merupakan bahan standar, tetapi ia tidak begitu efektif. Ia menyerap terlalu banyak tenaga inframerah. Emas pula berbeza; ia dapat memantulkan lebih daripada 98% tenaga inframerah tersebut. Dengan adanya lapisan emas ini, foton-foton haba akan dipantulkan kembali ke wafer tersebut. Ini sama seperti menggunakan kaca pembesar daripada mentol lampu biasa. Dengan cara ini, haba dapat disalurkan secara efektif ke tempat yang diperlukan, tanpa perlu meningkatkan kuasa lampu tersebut.
Masalah utama: Haba dan Kuasa
Ketika memilih pemanas ini, kita perlu memastikan kuasa dan luas permukaannya sesuai. Lampu berkuasa tinggi memang bagus untuk mempercepat proses pengeringan, tetapi ia akan menjadi sangat panas. Jika sistem penyejukan tidak dapat menghadapi haba yang dihasilkan, ia akan menyebabkan masalah seperti wafer yang rosak atau sensor yang tidak berfungsi. Itulah sebabnya kami menghabiskan masa yang banyak untuk menyesuaikan titik fokus haba tersebut agar ia tepat pada permukaan wafer.
Menjaga kualiti operasi
Pemanas ini direka untuk digunakan sebagai pengganti arrai inframerah biasa. Kami memberi perhatian khusus pada jarak antara pemancar dan reflektor, kerana itulah tempat berlakunya “zon mati” – tempat di mana haba terkumpul tanpa memberi kesan positif.
Perlu diingat bahawa emas merupakan bahan yang lembut. Ia tidak tahan terhadap geseran yang kuat seperti aluminium. Jika kita menggunakan bahan pembersih yang kasar, permukaan emas akan tercalar. Apabila itu berlaku, kecekapan pemanas akan menurun dan bil elektrik akan meningkat. Gunakanlah bahan pembersih yang sesuai untuk menjaga kualiti pemanas ini.