Komponen penghangat ganti untuk Axcelis
Di bahagian litografi, modul pembakaran fotoresist tidak boleh diabaikan. Proses pembakaran lembut membantu mengurangkan tekanan pada fotoresist dan...
Elemen pemanasan oven vakum fab
Di lantai kilang, pengeringan fotoresist bukanlah pemanasan awal. Ia adalah engsel dalam proses.
Biarkan pemanasan lembut atau keras menyimpang...