Op de vloer biedt het 2,5D/3D IC-verpakkingsproces geen ruimte voor thermische afwijkingen. Eén koud punt in de zone waar het underfill wordt verwerkt of waar het materiaal wordt herverwerkt, kan leiden tot problemen als lege plekken, scheuren in de verbindingen en overtollig materiaal dat veel geld kost. We hebben onze heater voor 2,5D/3D IC-verpakkingen precies ontworpen om deze problemen te voorkomen: er moet een constante temperatuur worden behouden op het actieve oppervlak, binnen een marge van ±0,1°C. Op deze manier krijgt elke chip dezelfde thermische omstandigheden, keer op keer.
Wat echt belangrijk is, is dat u controle hebt over de processen. We gebruiken een array van kortegolf-Infrarood-emitters in combinatie met een kwarts gebaseerd thermisch module en een gesloten lus systeem voor temperatuurmetingen. Hierdoor wordt de temperatuur snel gereguleerd en blijft deze stabiel, zelfs bij snelle temperatuursveranderingen. Het systeem werkt in een schoneomgeving van klasse 1–100, en is zo ontworpen dat er geen deeltjes vrijkomen – geen uitstoten van gassen, geen loskomen van materiaal, en geen contaminatie op de fotorezist of andere structuren.
In de productie betekent dit dat er voorspelbare bewerkingstemperatuuren zijn, herhaalbare temperaturen voor het verwerken van underfill, en stabiliteit die zorgt voor hoge opbrengsten.
De reden dat dit werkt, is eenvoudig: het systeem elimineert de thermische variabiliteiten die zich voordoen tijdens het proces. Hierdoor kan men beter controleren op de nodige dimensies tijdens de lithografische stappen, zijn er minder herwerkingen nodig, en is de hechting tussen de componenten consistent.
De energieverbruik neemt af, omdat de heater snel de gewenste temperatuur bereikt en deze behoudt, zonder dat er sprake is van overschrijdingen. Bovendien verbetert de beschikbaarheid van het apparaat, omdat de componenten geschikt zijn voor 24/7 gebruik.
Eén praktisch advies: om die constante temperatuur van ±0,1°C te bereiken, heeft u een geschikte thermische interface nodig, samen met goed gekalibreerde sensoren. Plan een korte testperiode in om de parameters af te stellen op basis van uw specifieke substraten.