Op het lithofloeroppervlak is al een verschuiving van een halve graad tijdens het zachte bakproces voldoende om de CD-bias te veranderen en veel goede wafers beschadigd te raken. We hebben onze lampen zo ontworpen dat deze deze verschuivingen voorkomen – ze zorgen voor een nauwkeurige temperatuurregeling, zonder dat er gokwerk nodig is.
Wat belangrijk is onder de motorkap
We gebruiken halogeenlampen met kortegolflengte-infraroodlicht, die zich bevinden in een kwartsomhulling. De temperatuur stijgt snel en blijft op het gewenste niveau. De uniformiteit op het oppervlak van de wafer blijft binnen ±0,1°C, zodat de temperatuur van de fotoresist overeenkomt met de vereisten, ongeacht de apparatuur.
Het systeem is compatibel met schone kamers van klasse 1 tot klasse 100. De gebruikte onderdelen en materialen zijn zodanig gekozen dat er zo min mogelijk deeltjes worden gegenereerd. Hierdoor blijft de nauwkeurigheid van het proces behouden, zelfs bij 24/7 gebruik. De levensduur van het systeem is meer dan 5.000 uur, met een stabiele spectrale uitgangstemperatuur.
Waarom het systeem goed presteert in de productie
Tijdens het zachte en harde bakproces bepaalt de lamp de thermische parameters die invloed hebben op het verwijderen van oplosmiddelen, de glasovergang en de selectiviteit van het etenproces. Dit resulteert in betere controle over de CD-waarde, minder defecten en minder herwerkingsnoden.
De snelle thermische respons en efficiënte SWIR-koppeling zorgen voor minder energieverbruik. Bovendien kan de lamp langdurig worden gebruikt, dankzij de voorspelbare onderhoudstijden.
De praktische details
Voor de beste uniformiteit moet de optische weg parallel liggen aan het vlak van de wafer, en moet de geometrie van de reflectoren overeenkomen met de vereisten van het proces. Er is ook een korte inwerktijd nodig, zodat de thermische processen in balans komen voordat het bakproces kan beginnen.
Plan ook rekening mee met de benodigde stroomsterkte en de compatibiliteit met andere apparaten. Wij leveren richtlijnen voor de verbindingen, zodat alles goed kan worden geïntegreerd in uw platformen.