Hoe maak je MEMS-wafern droog, zonder problemen?
Het drogen van MEMS-sensorwafern vereist een goede balans. Je wilt dat het water zo snel mogelijk verdwijnt – maar als je de wafer te veel hitte geeft, bestaat het risico dat de wafer vervormt of dat de hele partij besmet raakt.
Het geheim zit erin om ervoor te zorgen dat de hitte precies daar terechtkomt waar ze moet zijn. Veel machines verspillen veel energie aan het opwarmen van het metalen frame. We lossen dit op door speciale infraroodverwarmers te gebruiken, gecombineerd met goudcoateerde reflectoren.
Waarom goud?
Aluminium is de standaard, maar het is niet ideaal. Het neemt te veel infraroodenergie op. Goud is anders: in het nabije infraroodbereik weerkaatst het bijna 98% van de energie. In plaats van een ongewenste hittebron rondom de machine, worden de fotonen rechtstreeks teruggekaatst naar de wafer. Het is net alsof je een vergrootglas gebruikt in plaats van een lamp. Hierdoor krijg je een veel intensiever hitteeffect precies waar het nodig is, zonder dat je de sterkte van de lamp hoeft te verhogen.
Het lastige: Hitte en vermogen
Bij het kiezen van deze verwarmers moet je goed opletten naar het vermogen en de oppervlakte. Lampen met hoge vermogens zijn goed om de productie te versnellen, maar ze worden erg heet. Als het koelsysteem de hitte niet kan wegwerken, kunnen er problemen ontstaan – zoals vervormde onderdelen of beschadigde sensoren. Daarom besteden we veel tijd aan het kalibreren van het brandpunt. We zorgen ervoor dat de hitte precies op het vlak van de wafer terechtkomt.
Het behouden van de efficiëntie
Deze verwarmers zijn ontworpen als eenvoudige vervangingen voor de standaard IR-verwarmers. We hebben veel aandacht besteed aan de afstand tussen de emitter en de reflector, want daar ontstaan ‘dode zones’ – plekken waar de hitte zich ophoopt en geen effect heeft.
Eén belangrijk punt: goud is zacht. Het kan niet worden schoongemaakt met harde middelen, zoals aluminium wel kan. Als je agressieve reinigingsmiddelen gebruikt, zal het oppervlak beschadigen. Dat leidt tot een lagere efficiëntie en hogere kosten. Gebruik alleen de goedgekeurde reinigingsmiddelen, dan komt alles goed.