Abandone o uso de ar quente: por que os aquecedores a infravermelho a vácuo são a melhor opção
Se você ainda está usando circulação de ar quente no processo de processamento de semicondutores, provavelmente já percebeu a lentidão do processo. É frustrante. Você acaba tendo que esperar que toda a câmara e cada molécula de ar lá dentro se aqueçam antes que o wafer sinta algum efeito do calor. É um processo lento, que prejudica a eficiência do processo.
É por isso que passamos a usar aquecedores a infravermelho a vácuo. Nós simplesmente eliminamos o ar da equação.
A velocidade é incrível.
Pense nisso da seguinte maneira: os aquecedores a infravermelho utilizam radiação eletromagnética. Em um ambiente a vácuo, não há nada que impeça essa radiação de atingir diretamente o substrato. Não há necessidade de “aquecer” a sala ou esperar que uma brisa leve o calor embora. A resposta térmica é quase instantânea.
Para um gerente de fábrica, isso é um sonho. Um tempo de aquecimento de 20 minutos pode ser reduzido para segundos.
Mas não basta colocar qualquer lâmpada lá dentro. Ambientes a vácuo são muito agressivos para o hardware. Usamos elementos de quartzo com alta densidade energética para manter o calor concentrado. Mas, como não há ar para levar o calor em excesso para longe do equipamento, ele sofre bastante.
Atenção às estruturas de resfriamento. Se o sistema de resfriamento não for forte o suficiente para lidar com o calor excedente, você pode danificar as estruturas da câmara ou os selos utilizados. Isso é um problema que você definitivamente não quer enfrentar.
O melhor de tudo é que o espaço ocupado pelo equipamento diminui. Você pode se livrar daqueles ventiladores enormes e de todos os canais de ar complexos. Basta conectar os aquecedores a infravermelho, ajustar os controladores PID e pronto.
Mas há um detalhe importante: a uniformidade do aquecimento. O infravermelho é direcional, o que significa que, se você não tomar cuidado, pode haver pontos quentes. Para resolver isso, usamos refletores revestidos com ouro ou arrays multicâmeras, para distribuir o calor de maneira uniforme.
Além disso, há também o fator da limpeza. Quando você para de circular ar, também para de mover partículas e turbulências ao redor do componente. Sem sujeira, sem riscos. Apenas radiação direta e limpa.