Aquecedor automático para secagem de wafers
Na linha de 300 mm, aprende-se rapidamente que uma variação de temperatura inferior a 0,1°C durante a fase de secagem/não é algo insignificante. Essa...
Lâmpada de aquecimento de wafer de alta qualidade
No chão de quartzo, meio grau de desvio durante o processo de aquecimento suave já é suficiente para alterar o ajuste do CD e causar danos a muitas...