Aquecedor automático para secagem de wafers

Thu, 02 Jul 2026 03:14:23 +0800

Na linha de 300 mm, aprende-se rapidamente que uma variação de temperatura inferior a 0,1°C durante a fase de secagem/não é algo insignificante. Essa pequena variação pode causar alterações significativas nas dimensões dos componentes, e também afeta negativamente a quantidade de partículas presentes no material. Os aquecedores automáticos para secagem das wafers não são simplesmente fontes de calor adicionais; eles funcionam como elementos essenciais para o processo de secagem do fotoresist, garantindo que as condições térmicas sejam adequadas. Eles também são importantes para a secagem pós-limpeza, pois determinam se a peça pode ser enviada ou se precisa ser descartada.

Lâmpada de aquecimento de wafer de alta qualidade

Thu, 25 Jun 2026 01:23:44 +0800

No chão de quartzo, meio grau de desvio durante o processo de aquecimento suave já é suficiente para alterar o ajuste do CD e causar danos a muitas das bolachas de silício. Construímos nossas lâmpadas de aquecimento de modo a eliminar esse desvio desde o início – um controle térmico preciso que mantém o valor desejado sem necessidade de estimativas.

O que é importante por trás disso tudo Usamos lâmpadas halógenas de infravermelho de onda curta (SWIR) encapsuladas em invólucros de quartzo. A resposta térmica é rápida, e a temperatura permanece estável. A uniformidade ao nível da bolacha de silício fica entre ±0,1°C na área iluminada, de modo que a temperatura do fotorresistente segue as especificações definidas, e não as condições impostas pela ferramenta.

Wafers on Warm IR Heater Store

Aquecedor automático para secagem de wafers

Lâmpada de aquecimento de wafer de alta qualidade