На линии длины 300 мм достаточно полуградусного смещения во время процесса нагрева фоторезиста, чтобы это повлияло на ширину линий на пластине и привело к потере большого количества продукции. Именно для таких условий и был разработан этот инфракрасный нагреватель, совместимый с вакуумной средой – там температурный режим критически важен, а количество частиц в чистой комнате измеряется в молекулах.
Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем кратковолновые инфракрасные излучатели, установленные в кварцевых корпусах; они передают тепло непосредственно в фоторезист и подложку. Время реакции составляет менее секунды, контакта не требуется. На всей площади обработки однородность температуры сохраняется на уровне ±0,1°C, а вариативность между партиями продукции – не более ±0,2°C.
Нагреватель может быть установлен в вакуумные камеры и производственные установки с помощью стандартизированных фланцев; он также обладает защитой от RF/DC-сигналов. Он сохраняет чистоту в условиях класса 1–100, не создавая никаких частиц. Температура контролируется с использованием калиброванных приборов для измерения температуры, а тепловой профиль соответствует стандартам NIST.
Почему он подходит для литографии
В процессе литографии необходим стабильный процесс нагрева для удаления растворителей, снижения напряжений в пленке и контроля её параметров. Этот нагреватель обеспечивает стабильную температуру, что снижает вариативность параметров пленки и повышает производительность. Быстрый ответ нагревателя также сокращает время работы камеры.
Совместимость с вакуумом исключает риск загрязнения из-за утечек. Также снижается потребление энергии, поскольку тепло передается по мере необходимости, а не накапливается в большом объеме горячего вещества. Мы видели, что такие устройства могут работать более 5000 часов с выпадением производительности менее чем на 5%, что позволяет их использовать круглосуточно с минимальным количеством простоев.
Что нужно знать заранее
Установка предполагает точное выравнивание устройства по отношению к пластине, а также правильный выбор коэффициента излучаемости для конкретной схемы устройства. Стеклянные картеры, слои BARC и антиотражающие покрытия влияют на тепловую связь между устройством и пластиной.
Это не универсальное устройство, которое можно просто подключить к любой системе. Понадобится специальный контроллер и правильная механическая установка. Необходимо провести тестовый запуск, чтобы определить тепловой профиль и соотнести его с требованиями процесса.