Запасной нагревательный элемент Axcelis

Tue, 30 Jun 2026 01:37:30 +0800

На этапе литографии модуль для прокаливания фотополимера не допускает никаких отклонений. Процедура мягкого прокаливания устраняет напряжения в фотополимере и удаляет растворители; процедура жесткого прокаливания фиксирует его структуру перед этапом эчинга. Если элемент нагревателя Axcelis смещается, единообразие температуры на поверхности пластинки нарушается. Это приводит к смещению координат центра пластинки, а также к появлению избыточного слоя на краях пластинки. Качество продукции снижается ещё до того, как оборудование для эчинга успевает воздействовать на пластинку.

Что имеет значение с технической точки зрения Мы используем запасные элементы нагревателя Axcelis для обеспечения стабильности температуры. Кварцевые подложки в сочетании с источниками инфракрасного излучения короткой или средней длины волны позволяют быстро достигать нужной температуры при минимальной тепловой инерции. Цель состоит в том, чтобы единообразие температуры на поверхности пластинки составляло ±0,1°C во всей активной зоне. Это позволяет сохранять стабильность параметров фотополимера при производстве разных партий продукции. Элемент работает при заданном напряжении и мощности без возникновения горячих точек. Геометрия корпуса элемента соответствует оригинальной конструкции, включая элементы крепления и контакты. Материалы, используемые в производстве, соответствуют требованиям чистых помещений класса 1–100, что позволяет сводить количество частиц до минимума.

Акселис on Warm IR Heater Store

Запасной нагревательный элемент Axcelis