http://warm-ir-heater-store.com/ru/tags/%D0%BA%D0%B0%D1%87%D0%B5%D1%81%D1%82%D0%B2%D0%BE/ Recent content in Качество on Warm IR Heater Store Hugo ru Thu, 25 Jun 2026 01:23:44 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/ru/posts/high-quality-wafer-heating-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:23:44 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/ru/posts/high-quality-wafer-heating-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-store.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Лампа для нагрева пластин высокого качества"></p> <p>На литографическом столе даже небольшое смещение в полупроцента во время процедуры мягкой обработки может привести к изменению параметров CD-параметров и к повреждению большого количества качественных пластин. Мы разработали специальные лампы для нагрева пластин, которые помогают минимизировать такие смещения — они обеспечивают точный контроль температуры без необходимости предположений.</p> <p><strong>Что действительно важно</strong><br> Мы используем галогеновые лампы с коротковолновым инфракрасным излучением, помещенные в кварцевый корпус. Процесс нагрева происходит быстро, а температура остается стабильной. Равномерность температуры на поверхности пластины составляет ±0,1°C во всей освещаемой зоне; таким образом температура фоторезиста соответствует заданным параметрам, а не зависит от характеристик оборудования.</p>