บนพื้นโรงงาน การอบฟิล์มโป๊ปไม่ใช่การเตรียมการ มันคือจุดเชื่อมในกระบวนการ ให้การอบอ่อนหรือการอบแข็งเบี่ยงเบนไป 1.5°C แล้วคุณจะเห็นผลใน CD control...

บนพื้นโรงงาน การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิในการอบ photoresist เพียงครึ่งองศาก็เพียงพอที่จะทำให้ความกว้างเส้นลายเปลี่ยนและทำให้ล็อตงานเสียหายได้...