แผ่นเวเฟอร์แห้งเร็วหลังจากล้างโคมไฟ

บนพื้นที่ผลิต ขั้นตอนการล้างเป็นความเสี่ยงที่ควบคุมได้ น้ำที่หลงเหลืออยู่หมายถึงการปนเปื้อนระดับจุลภาค และรอบการอบแห้งที่อ่อนแออาจทำให้ต้องแก้ไข...