Ozonun donanımınızı tahrip etmesine izin vermeyin.
Bir yarı iletken fabrikasında çalışırken en son ihtiyacınız olan şey kirliliktir. Kurutma ve sertleştirme işlemlerinin fark edilmemesi gerekir; bu işlemlerin wafere herhangi bir iz bırakmaması ve temiz oda ortamını bozmaması gerekir.
İşte burada ozonsuz kızılötesi (IR) lambalar devreye giriyor.
Çoğu standart kısa dalga boylu IR lambası, 185nm ile 254nm aralığında radyasyon yayma eğilimindedir. Sorun şu ki, bu radyasyon havadaki oksijenle reaksiyona girerek ozon oluşturur. Bir fabrikada ozon aslında zararlı bir maddeye dönüşür; farkına varmadan ekipman parçalarını aşındırır ve yüzeyleri bozar.
Bunu çözmenin yolu oldukça basit.
Bu tür VUV (Vakum Mor Ötesi) radyasyonunu engellemek için özel kuvars kılıflar veya iç filtreler kullanılır. 200nm’nin altındaki tüm radyasyonları engelleyerek kimyasal atıklardan tamamen kurtuluruz. Böylece sadece saf termal enerji elde edilir.
En iyi yanı ise, havayı temizlemek için büyük ve gürültülü egzoz sistemlerine ihtiyaç duymadan yüksek yoğunlukta sertleştirme işlemleri yapabilmenizdir. Bu sayede tüm oda daha temiz görünür.
Ayrıca çok daha hızlıdır.
Konveksiyon fırınlarını düşünün: Havanın ısınması gerekiyor, ardından hava parçayı ısıtıyor. Bu süreç yavaştır. Kızılötesi ışınlar ise enerjiyi doğrudan malzemeye aktarır. Daha verimlidir. Hazırlık süreleri kısalar ve işlemler daha hızlı tamamlanır. Ayrıca bu sistemlerin bölgelere ayrılmasıyla, sadece küçük bir alanın ısınmasına ihtiyaç duyulduğunda tüm panoyu ısıtmak için enerji harcamazsınız.
Ancak bir engel var…
Yüksek yoğunluklu IR lambaları çok ısınır. Yani lambanın baş kısmı gerçekten çok sıcak olur. Süreç yeşil olsa da, donanım yine de bunun etkisini hisseder. Soğutma fanlarına veya su soğutmalı sistemlere önem vermek zorundasınız. Eğer soğutma yetersizse, lambaların uçları aşırı ısınarak eriyebilir. Bu da lambaların bozulmasına neden olur.
Ozonsuz IR lambalara geçmek her şeyi kolaylaştırır. Tehlikeli gaz monitörleri konusunda endişelenmenize gerek kalmaz ve “çevre dostu” ve “kurşunsuz” standartlara kolayca uyabilirsiniz. Daha temiz ve sessiz bir iş yerine ulaşmanın en kısa yolu budur.