На виробничій лінії все працює за стандартною схемою. Навіть незначна зміна температури при випалюванні на рівні 0,3°C може спричинити зміну профілю фоторезисту на рівні нанометрів. Це проявляється у зміні ширини ліній на поверхні пластини. Хоча процес виконується за однаковими параметрами, все одно якість продукції погіршується. Крок випалювання – це не просто нагрівання; потрібна також точність виконання процедури.
Що є важливим?
Ми створили нашу лампу з двома трубками та золотим покриттям, яка базується на коротковхвильовому інфрачервоному випромінюванні. Золоте покриття кварцової оболонки відбиває тепло назад у зону обробки, що підвищує ефективність теплопередачі та запобігає утворенню „гарячих точок“. Таким чином досягається однорідність температури на всій поверхні пластини на рівні ±0,1°C. Це дозволяє зберігати параметри процесу в межах допусків. Матеріали та конструкція лампи, придатні для використання в чистих приміщеннях, зменшують кількість частинок, що утворюються під час роботи лампи. Лампа може працювати 24/7 з передбачуваними інтервалами технічного обслуговування, що зменшує можливість непланових перерв у роботі.
Чому це важливо в літографії?
Крок випалювання впливає на адгезію фоторезисту, на видалення розчинників та на контроль критичних розмірів. Завдяки контролю температури на рівні ±0,1°C зменшуються похибки в розташуванні елементів на пластині. Це також зменшує кількість необхідних корекцій та сприяє стабільності процесу.
Кілька порад щодо використання лампи
Золоте покриття забезпечує високий рівень відбиття та довговічність, але вимагає ретельного поводження та чищення, щоб уникнути пошкодження поверхні. Необхідно підбирати лампу відповідно до геометрії відбивача та характеристик джерела живлення. Несумісні компоненти можуть погіршити однорідність температури. Також необхідно періодично перевіряти параметри роботи лампи, щоб зберегти її точність протягом усього терміну служби.