На лінії довжиною 300 мм достатньо півградусної похибки під час процесу випалювання фотопровідника, щоб це вплинуло на товщину шару фотопровідника та призвело до зіпсованих продуктів. Саме для таких умов і створений цей інфрачервоний нагрівач, сумісний з вакуумом – тут температурний режим є критично важливим параметром, а кількість частинок у чистій кімнаті вимірюється у молекулах.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо низькочастотні інфрачервоні випромінювачі в кварцевій конструкції, які передають тепло безпосередньо у фотопровідник та підкладку. Час реакції становить менше секунди; контакту не потрібно. У всій зоні обробки однорідність температури на рівні пластини становить ±0,1°C, а повторюваність результатів між серіями продукції – ≤0,2°C.
Нагрівач може бути встановлений у вакуумні камери та обладнання за допомогою стандартизованих фланців; крім того, він має захист від радіочастотних та постійних струмів. Він залишається чистим у умовах класу 1–100, не створюючи жодних частинок. Температура контролюється за допомогою каліброваної пірометрії, а тепловий профіль можна порівняти зі стандартами NIST.
Чому цей нагрівач підходить для літографії
У літографії необхідний стабільний процес випалювання для ефективного видалення розчинників, контролю напруги у шарі фотопровідника та зменшення похибок у розмірах продукції. Цей нагрівач забезпечує стабільність температури, що допомагає зменшити похибки та підвищити якість продукції. Швидка реакція нагрівача також скорочує час обробки.
Сумісність із вакуумом усуває ризик забруднення через витіки. Крім того, споживання енергії зменшується, оскільки тепло подається на місце його необхідності, а не у великій кількості. Ми бачили, що нагрівач може працювати понад 5 000 годин без зниження продуктивності більш ніж на 5%, що дозволяє їм працювати 24/7 з меншою кількістю несправностей.
Що потрібно знати заздалегідь
Встановлення нагрівача полягає у правильному вирівнюванні його щодо пластини та виборі оптимального рівня емісії для вашої конструкції. Скляні носії, покриття BARC та антивідбивні покриття впливають на тепловий зв’язок.
Це не просто додатковий пристрій, який можна використовувати будь-де. Вам знадобиться спеціальний контролер та правильне механічне вирівнювання. Необхідно провести короткий тестовий запуск, щоб визначити тепловий профіль та врахувати його під час налаштування процесу.