http://warm-ir-heater-store.com/uk/tags/%D1%8F%D0%BA%D1%96%D1%81%D1%82%D1%8C/ Recent content in Якість on Warm IR Heater Store Hugo uk Thu, 25 Jun 2026 01:23:44 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/uk/posts/high-quality-wafer-heating-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:23:44 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/uk/posts/high-quality-wafer-heating-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-store.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Лампа для нагрівання пластин високої якості"></p> <p>На літографічному полі під час процедури м’якого випалювання достатньо лише напівградусового зміщення температури, щоб це призвело до зміни параметрів CD та пошкодження багатьох якісних пластин. Ми розробили спеціальні лампи для нагріву пластин, які дозволяють усунути таке зміщення на самому початку процесу – це забезпечує точний контроль температури без необхідності використання припущень.</p> <p><strong>Що є важливим у конструкції системи</strong><br> Ми використовуємо галогенові лампи з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням, які розташовані всередині кварцових корпусів. Процес нагрівання відбувається швидко, а стабільний рівень температури підтримується протягом усього часу роботи. Рівномірність температури на поверхні пластини становить ±0,1°C у всій освітленій зоні; завдяки цьому температура фоторезисту контролюється відповідно до заданих параметрів, а не залежно від характеристик обладнання.</p>