300 ملی میٹر لائن پر کام کرتے ہوئے، جلد ہی یہ سمجھ میں آتا ہے کہ خشک کرنے/بیک کرنے کے عمل میں 0.1 ڈگری سیلسیس سے کم کی درستگی بھی کوئی چھوٹی بات نہیں ہے۔ اس سے ذرات کی تعداد میں تبدیلی واقع ہوتی ہے، اور یہ تبدیلی نینومیٹر کی سطح پر ہوتی ہے۔ خودکار ویفر خشک کرنے والے ہیٹر صرف اضافی حرارت فراہم کرنے والے آلات نہیں ہیں؛ بلکہ یہ فوٹوریزسٹ کے نرم اور سخت بیکنگ عملوں کے لئے اہم کردار ادا کرتے ہیں، اور صفائی کے بعد ویفر کو خشک کرنے میں بھی اہم کردار ادا کرتے ہیں۔ اس سے یہ فیصلہ ہوتا ہے کہ ویفر کو بھیجا جائے یا رد کر دیا جائے۔
تکنیکی اعتبار سے اہم باتیں
ہم نے خشک کرنے والے ہیٹر کو ایسے تھرمل ماڈیول کے گرد تیار کیا ہے جو کلین روم کے معیارات کے مطابق ہے، اور یہ ویفر کے مختلف حصوں میں درجہ حرارت کو ±0.1 ڈگری سیلسیس کے اندر رکھتا ہے۔ 24 گھنٹوں کے دوران درجہ حرارت کی استحکامیت ±0.2 ڈگری سیلسیس سے بہتر ہے۔ درجہ حرارت کو اس طرح کنٹرول کیا جاتا ہے کہ فوٹوریزسٹ کے تھرمل بیلنس کو برقرار رکھا جائے، تاکہ کوئی مسئلہ پیدا نہ ہو۔ چیمبر اور اگزاسٹ پائپ لائنوں کی ترتیب اس طرح کی گئی ہے کہ کوئی ذرہ باہر نہ نکلے، اور ISO کلاس 1–100 کے معیارات برقرار رہیں۔ مختلف بیچوں کے درمیان درجہ حرارت میں تغیر ≤0.3 ڈگری سیلسیس ہے، جس سے عمل مستقل طور پر بہترین حالت میں رہتا ہے۔
اس کے اس طرح کام کرنے کی وجہ
لیتھوگرافی اور ٹریک انٹیگریشن میں، مستقل نرم بیکنگ سے فلم کی چپچپاہٹ اور تناؤ کو کنٹرول کیا جاتا ہے، جبکہ مستقل سخت بیکنگ سے ایکسپوزر اور ڈویلپمنٹ سے پہلے فلم کی ساخت کو مستحکم کیا جاتا ہے۔ اس ہیٹر کی بدولت، کناروں پر موجود ذرات اور حل کی وجہ سے پیدا ہونے والے مسائل ختم ہو جاتے ہیں، اور CD اور اوورلے کی ساخت کو بھی مستحکم کیا جا سکتا ہے۔ یہ یونٹ خودکار پروٹوکولوں کی حمایت کرتا ہے، اس لئے آپ کو کسی قسم کے اندازے لگانے کی ضرورت نہیں ہے، اور توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیونکہ یہ ماڈیول صرف مخصوص چکر کے دوران ہی حرارت فراہم کرتا ہے، نہ کہ پورے چیمبر میں۔
کچھ عملی نکات
اس ہیٹر کی تنصیب کے لئے ٹریک گیس، ویکیوم، اور اگزاسٹ سسٹموں کے ساتھ بہترین تعاون ضروری ہے، اور ہیٹر کا سائز اور ڈیزائن ویفر کے سائز اور چک کی شکل کے مطابق ہونا چاہیے۔ عملی حالات میں درجہ حرارت کی پیمائش ضروری ہے، نہ کہ صرف خاموش حالت میں۔ جب یہ یونٹ درست طریقے سے کام کرنے لگتا ہے، تو اسے مسلسل استعمال کیا جا سکتا ہے، لیکن پھر بھی درستگی اور ذرات کی سطح کو برقرار رکھنے کے لئے باقاعدگی سے کیلیبریشن اور فلٹر چیک ضروری ہے۔