گرم ہوا کے استعمال سے اجتناب کریں: ویکیوم آئی آر ہی بہترین حل ہے۔
اگر آپ اب بھی سیمی کنڈکٹرز کی پروسیسنگ کے لئے گرم ہوا کا استعمال کر رہے ہیں، تو آپ نے شاید اس کی سست رفتاری کو محسوس کیا ہوگا۔ یہ بہت پریشان کن ہے۔ دراصل، آپ کو پورے چیمبر اور اس میں موجود ہر ذرے کے گرم ہونے کا انتظار کرنا پڑتا ہے، تاکہ ویفر پر کوئی اثر پڑے۔ یہ ایک سست عمل ہے، جس سے کام میں تاخیر ہوتی ہے۔
اسی لئے ہم نے ویکیوم آئی آر ہیٹرز کا استعمال شروع کیا۔ ہم نے ہوا کے استعمال کو مکمل طور پر ختم کر دیا۔
رفتار تو حیران کن ہے۔
آئی آر ہیٹرز الیکٹرومیگنیٹک تابکاری کا استعمال کرتے ہیں۔ ویکیوم میں کوئی رکاوٹ نہیں ہوتی، لہذا فوٹونز براہ راست سبسٹریٹ پر پڑتے ہیں۔ کمرے کو گرم کرنے کی ضرورت نہیں، نہ ہی ہوا کے ذریعے حرارت کو منتقل کرنے کی ضرورت ہے۔ حرارتی ردِعمل تقریباً فوری ہی ہوتا ہے۔
فیکٹری مینیجر کے لئے یہ بہترین حل ہے۔ 20 منٹ کا وقت صرف چند سیکنڈ میں ہی گزر جاتا ہے۔
لیکن آپ کسی بھی بلب کا استعمال نہیں کر سکتے۔ ویکیوم ماحول ہارڈویئر کے لئے بہت خطرناک ہے۔ ہم اعلیٰ واٹیج والے کوارٹز عناصر کا استعمال کرتے ہیں تاکہ حرارت کو مرکوز کیا جا سکے، لیکن چونکہ ہوا نہیں ہے، لہذا آلات کو بہت نقصان پہنچتا ہے۔
کولنگ سسٹم پر توجہ دیں۔ اگر آپ کا کولنگ سسٹم کافی مضبوط نہیں ہے، تو آپ کے چیمبر کے پرزے خراب ہو سکتے ہیں۔ یہ بہت پریشان کن ہے۔
لیکن اچھی بات یہ ہے کہ آپ کے آلات کا سائز کم ہو جاتا ہے۔ آپ بڑے بلوئرز اور پیچیدہ ڈکٹس کو ختم کر سکتے ہیں۔ آپ صرف آئی آر ہیٹرز کو جوڑیں، PID کنٹرولرز کو سیٹ کریں، اور کام شروع کر دیں۔
لیکن ایک مسئلہ ہے: یکسانیت۔ آئی آر تابکاری کی سمت محدود ہے، لہذا اگر آپ احتیاط نہ کریں، تو کچھ جگہوں پر حرارت زیادہ ہو سکتی ہے۔ ہم اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے سونے سے بنے ریفلیکٹرز یا ملٹی-انگل ایرےز کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ حرارت کو مناسب طریقے سے پھیلایا جا سکے۔
اس کے علاوہ، صفائی کا مسئلہ بھی ہے۔ جب آپ ہوا کے بہاؤ کو روک دیتے ہیں، تو آپ کے کام کی جگہ پر کوئی گندگی نہیں رہتی، اور کوئی خطرہ بھی نہیں رہتا۔ صرف صاف، براہ راست تابکاری ہی باقی رہتی ہے۔