
Ngăn chặn việc đèn bị hỏng và làm hư hại các wafer của bạn
Trong một dây chuyền sản xuất với công suất lớn, việc đèn bị nổ thực sự là một cơn ác mộng. Không chỉ máy móc phải ngừng hoạt động trong vài giờ, mà còn gây ra nhiều rối loạn khác nữa. Khi ống thủy tinh chứa đèn bị nổ, những mảnh thủy tinh và khí halogen sẽ rơi trực tiếp xuống các wafer. Như vậy, toàn bộ lô sản phẩm sẽ bị hỏng. Chúng tôi thiết kế các bộ điều khiển sấy bằng tia hồng ngoại và các bộ phận đèn sao cho điều này không xảy ra.
Giữ cho mọi thứ ở trạng thái ổn định
Hầu hết các đèn bị hỏng do tác động của nhiệt độ cao hoặc sự thay đổi đột ngột về điện áp. Điều này giống như việc đổ nước sôi vào chiếc cốc lạnh – chiếc cốc sẽ bị vỡ. Đó là lý do tại sao các bộ điều khiển của chúng tôi không tức thì cho đèn hoạt động ở mức công suất cao ngay khi bắt đầu hoạt động. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng cơ chế PID để tăng dần công suất. Điều này giúp ống thủy tinh có thời gian mở rộng một cách từ từ và an toàn.
Chúng tôi sử dụng thủy tinh nung chảy có độ tinh khiết cao, vì loại thủy tinh này có thể chịu được nhiệt độ cao. Nhưng thực tế thì đó vẫn là thủy tinh – vật liệu dễ vỡ. Để khắc phục điều này, chúng tôi bọc đèn trong một lớp vỏ bảo vệ. Điều này giống như một “lưới an toàn”. Nếu ống thủy tinh bị hỏng, lớp vỏ bảo vệ sẽ giữ lại các mảnh vỡ. Như vậy, các wafer vẫn sạch sẽ, và bạn không cần phải mất thời gian để lau chùi máy móc nữa.
Phần cứng bền chắc
Bạn không thể sử dụng đèn có công suất cao trên một mạch điện rẻ tiền và kém chất lượng. Nếu điện áp thay đổi liên tục, sợi dây tóc của đèn sẽ bị tổn thương. Cuối cùng, đèn sẽ bị hỏng. Chúng tôi kiểm soát chặt chẽ điện áp, giúp đèn hoạt động lâu hơn và tránh được những tiếng nổ đột ngột trong quá trình hoạt động.
Chúng tôi cũng chú trọng đến các đầu nối của đèn. Nếu các đầu nối không được gia cố chắc chắn, sẽ xảy ra hiện tượng điện arc, gây ra những điểm nóng nhỏ có thể làm vỡ đầu ống thủy tinh. Việc đảm bảo các đầu nối được gắn chặt sẽ giúp đèn hoạt động ổn định hơn.
Một nhược điểm nhỏ
Thành thật mà nói, việc sử dụng lớp vỏ bảo vệ sẽ làm giảm một chút bức xạ hồng ngoại. Bạn sẽ mất một tỷ lệ nhỏ năng lượng phát ra từ đèn. Để bù đắp cho điều này, bạn có thể cần tăng công suất đèn lên, hoặc để các wafer ở trong máy lâu hơn một chút để đạt được nhiệt độ mong muốn. Đó là một thay đổi nhỏ, nhưng vẫn tốt hơn nhiều so với việc mất đi nhiều wafer quý giá do đèn bị hỏng.