Ngăn chặn việc vỡ đèn: Giải pháp tốt hơn để sử dụng đèn hồng ngoại trong quy trình rửa wafer
Nếu bạn đang sản xuất wafer với khối lượng lớn, chắc hẳn bạn đã từng trải qua những tình huống tồi tệ. Bạn sử dụng đèn hồng ngoại trong quy trình rửa wafer, nhưng đột nhiên chiếc đèn bị vỡ. Đó thực sự là một thảm họa: ống thạch anh bị vỡ, và các mảnh thủy tinh cùng chất hóa học lan khắp các wafer. Kết quả là toàn bộ lô sản phẩm trở thành rác thải.
Chúng tôi đã chán ngấy những rủi ro này, vì vậy chúng tôi ngừng sử dụng những chiếc đèn có cấu trúc mở. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng loại đèn được bảo vệ bởi lớp vỏ chống thấm nước.
Tại sao đèn lại bị vỡ?
Thực ra, các đèn hồng ngoại thông thường không được thiết kế để hoạt động trong môi trường có độ ẩm cao. Chúng thường bị hỏng do hơi ẩm xâm nhập vào bên trong hoặc do tác động của nhiệt độ cao. Hãy tưởng tượng: một ống thạch anh có nhiệt độ lên đến 600°C. Nếu có một giọt nước nhỏ chạm vào bề mặt ống này, điều đó sẽ tạo ra áp lực lớn, khiến ống bị vỡ.
Để khắc phục vấn đề này, chúng tôi sử dụng lớp vỏ thạch anh có độ tinh khiết cao, được bao bọc bởi lớp vỏ chống thấm nước. Lớp vỏ này đóng vai trò như lớp bảo vệ, giúp ngăn nước tiếp xúc với ống thạch anh. Nhờ vậy, ống thạch anh sẽ không bị vỡ.
Bảo vệ an toàn
Chúng tôi chú trọng đến việc bảo vệ các linh kiện. Chúng tôi sử dụng các bộ phận bảo vệ chuyên dụng để giúp ngăn chặn sự xâm nhập của chất lỏng vào bên trong đèn. Nhờ vậy, bạn có thể tăng công suất đèn mà không phải lo lắng về việc rò rỉ chất lỏng gây hại cho hệ thống điện.
Một mẹo nhỏ: Hãy kiểm tra lại nguồn điện cung cấp cho đèn. Đảm bảo rằng điện áp và công suất phù hợp với yêu cầu của đèn. Nếu bạn vượt quá mức cho phép, áp suất bên trong đèn sẽ tăng lên, và điều này có thể làm hỏng lớp vỏ chống thấm nước theo thời gian.
Lắp đặt dễ dàng
Điều tuyệt vời nhất là bạn chỉ cần thay thế đèn cũ bằng đèn mới mà thôi. Bạn không cần phải lo lắng về các bộ phận bảo vệ phức tạp nữa. Vì nguồn nhiệt được bảo vệ kín, bạn không cần lo lắng về việc các mảnh thủy tinh rơi xuống các wafer nữa.
Lưu ý về việc làm mát: Vì lớp vỏ bên ngoài giữ lại nhiều nhiệt hơn so với ống thạch anh thông thường, bạn cần đảm bảo rằng quạt làm mát hoạt động hiệu quả.
Đó là một giải pháp đơn giản nhưng giúp giảm bớt nhiều rắc rối.